Цахиурын карбидын нэг талст өсөлтийн процесст физик уурын тээвэрлэлт нь одоогийн үйлдвэржилтийн үндсэн арга юм. PVT өсөлтийн аргын хувьд,цахиурын карбидын нунтагөсөлтийн үйл явцад ихээхэн нөлөө үзүүлдэг. -ийн бүх параметрүүдцахиурын карбидын нунтагдан болор өсөлтийн чанар, цахилгаан шинж чанарт шууд нөлөөлдөг. Одоогийн үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд ихэвчлэн ашиглагддагцахиурын карбидын нунтагсинтезийн процесс нь өөрөө тархдаг өндөр температурт синтезийн арга юм.
Өөрөө үржүүлдэг өндөр температурт синтезийн арга нь өндөр температурыг ашиглан урвалд орох бодисуудад химийн урвалыг эхлүүлэхийн тулд анхны дулааныг өгч, дараа нь урвалд ороогүй бодисыг химийн урвалыг дуусгахын тулд өөрийн химийн урвалын дулааныг ашигладаг. Гэсэн хэдий ч Si, C-ийн химийн урвал нь бага дулаан ялгаруулдаг тул урвалыг хадгалахын тулд бусад урвалжуудыг нэмэх шаардлагатай. Тиймээс олон эрдэмтэд энэ үндсэн дээр идэвхжүүлэгчийг нэвтрүүлж, өөрийгөө үржүүлэх синтезийн сайжруулсан аргыг санал болгосон. Өөрийгөө үржүүлэх аргыг хэрэгжүүлэхэд харьцангуй хялбар бөгөөд синтезийн янз бүрийн параметрүүдийг тогтвортой хянахад хялбар байдаг. Том хэмжээний синтез нь үйлдвэржилтийн хэрэгцээг хангадаг.
1999 онд Бриджпорт нийлэгжүүлэхийн тулд өөрөө тархдаг өндөр температурт синтезийн аргыг ашигласан.SiC нунтаг, гэхдээ этоксисилан, фенол давирхайг түүхий эд болгон ашигласан нь өртөг өндөртэй байсан. Гао Пан болон бусад хүмүүс нийлэгжүүлэх түүхий эд болгон өндөр цэвэршилттэй Si нунтаг болон С нунтаг ашигласанSiC нунтагаргоны уур амьсгал дахь өндөр температурын урвалаар. Нин Лина том бөөмсийг бэлтгэсэнSiC нунтагхоёрдогч синтезээр.
Хятадын электроникийн технологийн группын хоёр дахь судалгааны хүрээлэнгийн бүтээсэн дунд давтамжийн индукцийн халаалтын зуух нь цахиурын нунтаг болон нүүрстөрөгчийн нунтагыг тодорхой стехиометрийн харьцаагаар жигд хольж, бал чулууны тигелд байрлуулдаг. Theбал чулуу тигельхалаах зориулалттай дунд давтамжийн индукцийн халаалтын зууханд байрлуулж, температурын өөрчлөлтийг бага температурт фазын болон өндөр температурын фазын цахиурын карбидыг нэгтгэж, хувиргахад ашигладаг. Бага температурын үе дэх β-SiC синтезийн урвалын температур нь Si-ийн дэгдэмхий температураас бага байдаг тул өндөр вакуум дор β-SiC-ийн нийлэгжилт нь өөрөө тархалтыг сайн хангаж чадна. α-SiC-ийн нийлэгжилтэнд аргон, устөрөгч, HCl хийг нэвтрүүлэх арга нь задралаас сэргийлдэг.SiC нунтагөндөр температурын үе шатанд, α-SiC нунтаг дахь азотын агууламжийг үр дүнтэй бууруулах боломжтой.
Шаньдун Тианьюэ цахиурын түүхий эд болгон силан хий, нүүрстөрөгчийн түүхий эд болгон нүүрстөрөгчийн нунтаг ашигласан синтезийн зуух зохион бүтээжээ. Оруулсан түүхий эдийн хийн хэмжээг хоёр үе шаттай синтезийн аргаар тохируулсан бөгөөд эцсийн нийлэгжүүлсэн цахиурын карбидын ширхэгийн хэмжээ 50-5000 um байна.
1 Нунтаг синтезийн үйл явцын хяналтын хүчин зүйлүүд
1.1 Нунтаг ширхэгийн хэмжээ болор өсөлтөд үзүүлэх нөлөө
Цахиурын карбидын нунтаг ширхэгийн хэмжээ нь дараагийн нэг талст өсөлтөд маш чухал нөлөө үзүүлдэг. SiC моно болорыг PVT аргаар өсгөхөд голчлон хийн фазын бүрэлдэхүүн дэх цахиур ба нүүрстөрөгчийн молийн харьцааг өөрчлөх замаар хийгддэг бөгөөд хийн фазын бүрэлдэхүүн дэх цахиур ба нүүрстөрөгчийн молийн харьцаа нь цахиурын карбидын нунтаг ширхэгийн хэмжээтэй холбоотой байдаг. . Өсөлтийн системийн нийт даралт ба цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцаа нь бөөмийн хэмжээ буурах тусам нэмэгддэг. Бөөмийн хэмжээ 2-3 мм-ээс 0.06 мм хүртэл буурахад цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцаа 1.3-аас 4.0 хүртэл нэмэгддэг. Бөөмүүд нь тодорхой хэмжээгээр бага байх үед Si хэсэгчилсэн даралт ихсэж, өсөн нэмэгдэж буй болорын гадаргуу дээр Si хальсны давхарга үүсч, хий-шингэн-хатуу өсөлтийг өдөөдөг бөгөөд энэ нь полиморфизм, цэгийн согог, шугамын согогуудад нөлөөлдөг. болор дотор. Тиймээс өндөр цэвэршилттэй цахиур карбидын нунтаг ширхэгийн хэмжээг сайтар хянаж байх ёстой.
Түүнчлэн, SiC нунтаг хэсгүүдийн хэмжээ харьцангуй бага байх үед нунтаг нь илүү хурдан задарч, SiC дан талстууд хэт их ургадаг. Нэг талаас, SiC-ийн нэг талст өсөлтийн өндөр температурт нийлэгжилт, задралын хоёр процесс нэгэн зэрэг явагддаг. Цахиурын карбидын нунтаг нь Si, Si2C, SiC2 зэрэг хийн фаз болон хатуу үе шатанд нүүрстөрөгчийг задалж, үүсгэх бөгөөд үүний үр дүнд поликристал нунтаг ноцтой нүүрстөрөгчжиж, талст дахь нүүрстөрөгчийн хольц үүсэх болно; нөгөө талаас нунтаг задралын хурд харьцангуй хурдан байх үед ургасан SiC дан болорын талст бүтэц өөрчлөгдөх хандлагатай байдаг тул ургасан SiC дан болорын чанарыг хянахад хүндрэлтэй байдаг.
1.2 Нунтаг болор хэлбэрийн талст өсөлтөд үзүүлэх нөлөө
SiC дан талстыг PVT аргаар ургуулах нь өндөр температурт сублимация-дахин талстжих процесс юм. SiC түүхий эдийн болор хэлбэр нь болор өсөлтөд чухал нөлөө үзүүлдэг. Нунтаг синтезийн явцад нэгж эсийн куб бүтэцтэй бага температурт синтезийн үе шат (β-SiC), нэгж эсийн зургаан өнцөгт бүтэцтэй өндөр температурт синтезийн үе шат (α-SiC) үндсэндээ гарна. . Цахиурын карбидын болор хэлбэрүүд нь маш нарийн бөгөөд температурын хяналтын хязгаартай байдаг. Жишээлбэл, 3C-SiC нь 1900 ° C-аас дээш температурт зургаан өнцөгт цахиурын карбидын полиморф буюу 4H/6H-SiC болж хувирна.
Нэг талст ургуулах явцад талстыг ургуулахад β-SiC нунтаг хэрэглэхэд цахиур-нүүрстөрөгчийн молийн харьцаа 5.5-аас их байдаг бол α-SiC нунтагаар талстыг ургуулахад цахиур-нүүрстөрөгчийн молийн харьцаа 1.2 байна. Температур нэмэгдэхэд тигелд фазын шилжилт явагдана. Энэ үед хийн фаз дахь молийн харьцаа ихсэх бөгөөд энэ нь болор өсөлтөд тохиромжгүй болно. Түүнчлэн нүүрстөрөгч, цахиур, цахиурын давхар исэл зэрэг бусад хийн фазын хольцууд нь фазын шилжилтийн явцад амархан үүсдэг. Эдгээр хольцууд байгаа нь талстыг бичил хоолой, хоосон зайг бий болгодог. Тиймээс нунтаг болор хэлбэрийг нарийн хянах ёстой.
1.3 Нунтаг хольцын талст өсөлтөд үзүүлэх нөлөө
SiC нунтаг дахь хольцын агууламж нь болор өсөлтийн үед аяндаа үүсэх бөөмжилтөд нөлөөлдөг. Бохирдлын агууламж өндөр байх тусам болор аяндаа цөм үүсэх магадлал багасна. SiC-ийн хувьд үндсэн металлын хольцууд нь цахиурын нунтаг, нүүрстөрөгчийн нунтаг боловсруулах явцад боловсруулалтын хэрэгслээр нэвтэрч болох B, Al, V, Ni зэрэг орно. Тэдгээрийн дотроос B ба Al нь SiC-ийн энергийн гүехэн түвшний хүлээн авагч хольц бөгөөд энэ нь SiC эсэргүүцлийг бууруулдаг. Бусад металлын хольцууд нь эрчим хүчний олон түвшнийг нэвтрүүлж, өндөр температурт SiC дан талстуудын тогтворгүй цахилгаан шинж чанарыг бий болгож, өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч дан болор субстратын цахилгаан шинж чанар, ялангуяа эсэргүүцэлд илүү их нөлөө үзүүлдэг. Тиймээс өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын нунтагыг аль болох нийлэгжүүлэх шаардлагатай.
1.4 Нунтаг дахь азотын агууламжийн талст өсөлтөд үзүүлэх нөлөө
Азотын агууламжийн түвшин нь нэг талст субстратын эсэргүүцлийг тодорхойлдог. Томоохон үйлдвэрлэгчид нунтаг нийлэгжилтийн явцад боловсорч гүйцсэн талст өсөлтийн процессын дагуу синтетик материал дахь азотын допингийн концентрацийг тохируулах шаардлагатай байдаг. Өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч цахиурын карбидын нэг талст субстрат нь цэргийн үндсэн электрон эд ангиудын хамгийн ирээдүйтэй материал юм. Өндөр эсэргүүцэлтэй, маш сайн цахилгаан шинж чанар бүхий өндөр цэвэршилттэй хагас тусгаарлагч дан болор субстратыг ургуулахын тулд субстрат дахь үндсэн хольцын азотын агууламжийг бага түвшинд хянах шаардлагатай. Дамжуулагч нэг талст субстрат нь азотын агууламжийг харьцангуй өндөр концентрацитай хянахыг шаарддаг.
2 Нунтаг нийлэгжилтийн хяналтын гол технологи
Цахиурын карбидын субстратыг ашиглах орчин өөр өөр байдаг тул өсөлтийн нунтаг үйлдвэрлэх технологи нь өөр өөр процессуудтай байдаг. N төрлийн дамжуулагч нэг талст өсөлтийн нунтагуудын хувьд өндөр хольцгүй цэвэршилт, нэг фаз шаардлагатай; харин хагас дулаалгатай нэг талст өсөлттэй нунтагуудын хувьд азотын агууламжийг хатуу хянах шаардлагатай.
2.1 Нунтаг ширхэгийн хэмжээг хянах
2.1.1 Синтезийн температур
Процессын бусад нөхцлийг өөрчлөхгүйн тулд 1900 ℃, 2000 ℃, 2100 ℃, 2200 ℃ синтезийн температурт үүссэн SiC нунтагаас дээж авч шинжилсэн. Зураг 1-д үзүүлснээр 1900 ℃ температурт бөөмийн хэмжээ 250~600 μм, 2000 ℃ температурт бөөмийн хэмжээ 600~850 μм болж өсөж, бөөмийн хэмжээ ихээхэн өөрчлөгддөгийг харж болно. Температур 2100 ℃ хүртэл өсөхөд SiC нунтаг ширхэгийн хэмжээ 850 ~ 2360 μм байх ба өсөлт нь зөөлөн байх хандлагатай байдаг. 2200 ℃ температурт SiC-ийн ширхэгийн хэмжээ 2360 μм орчимд тогтвортой байна. Синтезийн температур 1900 ℃-аас нэмэгдэх нь SiC ширхэгийн хэмжээд эерэг нөлөө үзүүлдэг. Синтезийн температур 2100 хэмээс өсөхөд бөөмийн хэмжээ мэдэгдэхүйц өөрчлөгдөхгүй. Тиймээс синтезийн температурыг 2100 ℃ болгоход бага эрчим хүчний зарцуулалтаар том ширхэгийн хэмжээг нэгтгэж болно.
2.1.2 Синтез хийх хугацаа
Бусад үйл явцын нөхцөл өөрчлөгдөөгүй хэвээр байгаа бөгөөд синтезийн хугацааг 4 цаг, 8 цаг, 12 цаг гэж тохируулсан. Үүсгэсэн SiC нунтаг дээж авах шинжилгээг Зураг 2-т үзүүлэв. Синтезийн хугацаа нь SiC-ийн ширхэгийн хэмжээнд ихээхэн нөлөө үзүүлдэг нь тогтоогдсон. Синтезийн хугацаа 4 цаг байх үед бөөмийн хэмжээ голчлон 200 μм-т тархдаг; синтезийн хугацаа 8 цаг байх үед синтетик ширхэгийн хэмжээ ихээхэн нэмэгдэж, голчлон 1000 μм орчим тархдаг; нийлэгжилтийн хугацаа нэмэгдэхийн хэрээр бөөмийн хэмжээ улам нэмэгдэж, голчлон 2000 μм орчимд тархдаг.
2.1.3 Түүхий эдийн ширхэгийн хэмжээ нөлөөлөх
Дотоодын цахиур материалын үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээг аажмаар сайжруулахын хэрээр цахиурын материалын цэвэршилт мөн улам сайжирч байна. Одоогийн байдлаар нийлэгжүүлэхэд ашигладаг цахиурын материалыг 3-р зурагт үзүүлснээр үндсэндээ мөхлөгт цахиур, нунтаг цахиур гэж хуваадаг.
Цахиурын карбидын нийлэгжилтийн туршилт хийхэд өөр өөр цахиурын түүхий эд ашигласан. Синтетик бүтээгдэхүүний харьцуулалтыг Зураг 4-т үзүүлэв. Шинжилгээгээр блок цахиурын түүхий эдийг ашиглах үед бүтээгдэхүүнд Si элемент их хэмжээгээр агуулагддаг. Цахиурын блокыг хоёр дахь удаагаа буталсаны дараа синтетик бүтээгдэхүүн дэх Si элемент мэдэгдэхүйц багассан боловч энэ нь хэвээр байна. Эцэст нь нийлэгжүүлэхэд цахиурын нунтаг ашигладаг бөгөөд бүтээгдэхүүнд зөвхөн SiC агуулагддаг. Учир нь үйлдвэрлэлийн процесст том хэмжээний мөхлөгт цахиур эхлээд гадаргуугийн синтезийн урвалд орох шаардлагатай бөгөөд гадаргуу дээр цахиурын карбид нийлэгждэг бөгөөд энэ нь дотоод Si нунтагыг цаашид С нунтагтай нэгтгэхээс сэргийлдэг. Тиймээс, хэрэв блок цахиурыг түүхий эд болгон ашиглаж байгаа бол түүнийг буталж, дараа нь хоёрдогч синтезийн процесст оруулан болор ургах цахиурын карбидын нунтаг авах шаардлагатай.
2.2 Нунтаг болор хэлбэрийн хяналт
2.2.1 Синтезийн температурын нөлөөлөл
Үйл явцын бусад нөхцөлийг өөрчлөхгүйгээр синтезийн температур 1500℃, 1700℃, 1900℃, 2100℃ байх ба үүссэн SiC нунтагаас дээж авч шинжилнэ. Зураг 5-д үзүүлснээр β-SiC нь шороон шар өнгөтэй, α-SiC нь илүү цайвар өнгөтэй байна. Синтез хийсэн нунтагны өнгө, морфологийг ажигласнаар 1500 ℃ ба 1700 ℃ температурт нийлэгжсэн бүтээгдэхүүн β-SiC болохыг тодорхойлж болно. 1900℃-д өнгө нь цайвар болж, зургаан өнцөгт хэсгүүд гарч ирэх нь температур 1900℃ болсны дараа фазын шилжилт явагдаж, β-SiC-ийн хэсэг нь α-SiC болж хувирдаг болохыг харуулж байна; Температур 2100℃ хүртэл өсөхөд нийлэгжсэн тоосонцор нь тунгалаг болж, α-SiC үндсэндээ хувирсан байна.
2.2.2 Синтезийн хугацааны нөлөө
Бусад процессын нөхцөл өөрчлөгдөөгүй хэвээр байгаа бөгөөд синтезийн хугацааг тус тус 4, 8, 12 цаг гэж тохируулсан. Үүсгэсэн SiC нунтагаас дээж авч дифрактометрээр (XRD) шинжилнэ. Үр дүнг Зураг 6-д үзүүлэв. Синтезийн хугацаа нь SiC нунтагаар нийлэгжсэн бүтээгдэхүүнд тодорхой нөлөө үзүүлдэг. Синтезийн хугацаа 4 цаг ба 8 цаг байх үед синтетик бүтээгдэхүүн нь голчлон 6H-SiC; синтезийн хугацаа 12 цаг болоход бүтээгдэхүүнд 15R-SiC гарч ирнэ.
2.2.3 Түүхий эдийн харьцааны нөлөөлөл
Бусад процессууд өөрчлөгдөөгүй хэвээр байгаа бөгөөд цахиур-нүүрстөрөгчийн бодисын хэмжээг шинжилж, синтезийн туршилтын хувьд 1.00, 1.05, 1.10, 1.15 харьцаатай байна. Үр дүнг Зураг 7-д үзүүлэв.
XRD спектрээс харахад цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцаа 1.05-аас их байвал бүтээгдэхүүнд Si илүүдэл, 1.05-аас бага бол цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцаа илүүдэл С гарч ирдэг. Цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцаа 1.05 байх үед синтетик бүтээгдэхүүн дэх чөлөөт нүүрстөрөгч үндсэндээ алга болж, чөлөөт цахиур гарч ирэхгүй. Тиймээс өндөр цэвэршилттэй SiC-ийг нийлэгжүүлэхийн тулд цахиур-нүүрстөрөгчийн харьцааны хэмжээ 1.05 байх ёстой.
2.3 Нунтаг дахь азотын бага агууламжийг хянах
2.3.1 Синтетик түүхий эд
Энэхүү туршилтад ашигласан түүхий эд нь өндөр цэвэршилттэй нүүрстөрөгчийн нунтаг болон дундаж диаметр нь 20 мкм өндөр цэвэршилттэй цахиурын нунтаг юм. Жижиг хэсгүүдийн хэмжээ, том өвөрмөц гадаргуугийн талбайн улмаас агаарт N2 шингээхэд хялбар байдаг. Нунтаг нийлэгжүүлэлт хийхдээ нунтаг болор хэлбэрт оруулна. N-хэлбэрийн талстуудын өсөлтийн хувьд нунтаг дахь N2-ийн жигд бус допинг нь талстыг жигд бус эсэргүүцэх, тэр ч байтугай болор хэлбэрийг өөрчлөхөд хүргэдэг. Устөрөгчийг нэвтрүүлсэний дараа нийлэгжүүлсэн нунтаг дахь азотын агууламж мэдэгдэхүйц бага байна. Учир нь устөрөгчийн молекулын хэмжээ бага байдаг. Нүүрстөрөгчийн нунтаг, цахиурын нунтагт шингэсэн N2 нь халааж, гадаргуугаас задрахад H2 нь жижиг эзэлхүүнээрээ нунтаг хоорондын завсарт бүрэн тархаж, N2-ийн байрлалыг сольж, N2 нь вакуум процессын явцад тигельээс гадагшилдаг. азотын агууламжийг арилгах зорилгод хүрэх.
2.3.2 Синтезийн үйл явц
Цахиурын карбидын нунтаг нийлэгжих явцад нүүрстөрөгчийн атом ба азотын атомын радиус ижил төстэй байдаг тул азот нь цахиурын карбидын нүүрстөрөгчийн сул орон зайг орлож, улмаар азотын агууламжийг нэмэгдүүлнэ. Энэхүү туршилтын процесс нь H2-ийг нэвтрүүлэх аргыг ашигладаг бөгөөд H2 нь синтезийн тигель дэх нүүрстөрөгч болон цахиурын элементүүдтэй урвалд орж C2H2, C2H, SiH хий үүсгэдэг. Нүүрстөрөгчийн элементийн агууламж нь хийн фазын дамжуулалтаар нэмэгдэж, улмаар нүүрстөрөгчийн сул орон зайг бууруулдаг. Азотыг зайлуулах зорилгод хүрч байна.
2.3.3 Процессын суурь азотын агууламжийн хяналт
Их хэмжээний сүвэрхэг графит тигель нь хийн фазын бүрэлдэхүүн дэх Si уурыг шингээх, хийн фазын бүрэлдэхүүн дэх Si-ийг багасгах, улмаар C/Si-ийг нэмэгдүүлэх нэмэлт С эх үүсвэр болгон ашиглаж болно. Үүний зэрэгцээ бал чулуун тигель нь Si уур амьсгалтай урвалд орж, Si2C, SiC2, SiC үүсгэдэг бөгөөд энэ нь Си уур амьсгалтай тэнцэх бөгөөд энэ нь бал чулуун тигльээс С эх үүсвэрийг өсөлтийн агаар мандалд авчирч, C харьцааг нэмэгдүүлж, нүүрстөрөгч-цахиурын харьцааг нэмэгдүүлдэг. . Иймд их хэмжээний сүвэрхэг графит тигель ашиглах, нүүрстөрөгчийн хоосон орон зайг багасгах, азотыг зайлуулах зорилгод хүрэх замаар нүүрстөрөгч-цахиурын харьцааг нэмэгдүүлэх боломжтой.
3 Нэг талст нунтаг нийлэгжилтийн процессын шинжилгээ ба загварчлал
3.1 Синтезийн үйл явцын зарчим, загвар
Нунтаг нийлэгжилтийн бөөмийн хэмжээ, талст хэлбэр, азотын агууламжийг хянах талаар дээр дурдсан цогц судалгааг хийснээр синтезийн процессыг санал болгож байна. Өндөр цэвэршилттэй С нунтаг болон Si нунтагыг сонгон жигд хольж, цахиур нүүрстөрөгчийн харьцаа 1.05-ын дагуу бал чулууны тигелд ачдаг. Процессын үе шатуудыг үндсэндээ дөрвөн үе шатанд хуваадаг.
1) Бага температурт денитрификацийн процесс, 5х10-4 Па хүртэл тоос соруулж, дараа нь устөрөгчийг нэвтрүүлж, камерын даралтыг 80 кПа болгож, 15 минутын турш барьж, дөрвөн удаа давтана. Энэ процесс нь нүүрстөрөгчийн нунтаг болон цахиурын нунтаг гадаргуу дээрх азотын элементүүдийг арилгах боломжтой.
2) Өндөр температурт денитрификацийн процесс, 5×10-4 Па хүртэл тоос соруулж, дараа нь 950 ℃ хүртэл халааж, дараа нь устөрөгчийг нэвтрүүлж, камерын даралтыг 80 кПа болгож, 15 минутын турш барьж, дөрвөн удаа давтана. Энэ процесс нь нүүрстөрөгчийн нунтаг болон цахиурын нунтаг гадаргуу дээрх азотын элементүүдийг зайлуулж, дулааны талбайд азотыг жолоодох боломжтой.
3) Бага температурт фазын процессын синтез, 5×10-4 Па хүртэл нүүлгэн шилжүүлж, дараа нь 1350℃ хүртэл халааж, 12 цаг байлгаад дараа нь устөрөгчийг нэвтрүүлж, камерын даралтыг 80 кПа орчим болгож, 1 цаг байлгана. Энэ процесс нь синтезийн явцад ууршсан азотыг зайлуулж чадна.
4) Өндөр температурын фазын процессын нийлэгжилт, өндөр цэвэршилттэй устөрөгч, аргон хольцтой хийн тодорхой хэмжээний урсгалын харьцаагаар дүүргэж, камерын даралтыг 80 кПа орчим болгож, температурыг 2100 ℃ хүртэл өсгөж, 10 цаг байлгана. Энэ процесс нь цахиурын карбидын нунтагыг β-SiC-аас α-SiC болгон хувиргаж, болор хэсгүүдийн өсөлтийг дуусгана.
Эцэст нь тасалгааны температурыг тасалгааны температурт хөргөж, атмосферийн даралт хүртэл дүүргэж, нунтаг гаргаж авах хэрэгтэй.
3.2 Нунтаг боловсруулалтын дараах үйл явц
Нунтаг нь дээрх процессоор нийлэгжсэний дараа чөлөөт нүүрстөрөгч, цахиур болон бусад металлын хольцыг зайлуулж, ширхэгийн хэмжээг ялгахын тулд дараах боловсруулалт хийх ёстой. Эхлээд нийлэгжүүлсэн нунтагыг бөмбөлөгт тээрэмд хийж бутлах ба буталсан цахиурын карбидын нунтагыг муфель зууханд хийж хүчилтөрөгчөөр 450°С хүртэл халаана. Нунтаг дахь чөлөөт нүүрстөрөгч нь дулааны нөлөөгөөр исэлдэж, танхимаас гадагшилдаг нүүрстөрөгчийн давхар ислийн хий үүсгэдэг бөгөөд ингэснээр чөлөөт нүүрстөрөгчийг зайлуулахад хүрдэг. Дараа нь хүчиллэг цэвэрлэгээний шингэнийг бэлтгэж, нийлэгжилтийн явцад үүссэн нүүрстөрөгч, цахиур, металлын үлдэгдэл хольцыг цэвэрлэх зорилгоор цахиурын карбидын тоосонцор цэвэрлэх машинд хийнэ. Үүний дараа үлдэгдэл хүчил нь цэвэр усаар угааж, хатаана. Хатаасан нунтагыг чичиргээт шигшүүрээр шүүж, талст өсөлтийн ширхэгийн хэмжээг сонгоно.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 8-р сарын 08-ны хооронд