Уурын фазын эпитакси (VPE) процессын үед суурийн үүрэг нь субстратыг дэмжиж, өсөлтийн явцад жигд халаалтыг хангах явдал юм. Өөр өөр төрлийн суурь нь янз бүрийн өсөлтийн нөхцөл, материалын системд тохиромжтой. Дараах нь уурын үе шатанд түгээмэл хэрэглэгддэг суурийн төрлүүдийн зарим юмэпитакси:
Торхны тавцан
Торхны тавцанг ихэвчлэн хэвтээ буюу хазайсан уурын фазын эпитаксийн системд ашигладаг. Тэд субстратыг барьж, хий нь субстрат дээгүүр урсах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь жигд эпитаксиаль өсөлтийг бий болгоход тусалдаг.
Диск хэлбэртэй суурь (босоо тавцан)
Диск хэлбэртэй суурь нь босоо уурын фазын эпитаксикийн системд тохиромжтой бөгөөд субстратыг босоо байдлаар байрлуулна. Энэхүү загвар нь субстрат ба мэдрэгчийн хоорондох холбоо барих хэсгийг багасгахад тусалдаг бөгөөд ингэснээр дулааны алдагдал болон болзошгүй бохирдлыг бууруулдаг.
Хэвтээ мэдрэгч
Уурын фазын эпитаксид хэвтээ мэдрэгч нь бага тохиолддог боловч хэвтээ чиглэлд эпитаксийн өсөлтийг хангахын тулд зарим өвөрмөц өсөлтийн системд ашиглаж болно.
Цул эпитаксиаль урвалын мэдрэгч
Цул эпитаксиаль урвалын мэдрэгч нь нэг субстратад зориулагдсан бөгөөд энэ нь өндөр чанарын эпитаксиаль давхаргын өсөлтөд тохиромжтой температурыг илүү нарийвчлалтай хянах, илүү сайн дулаан тусгаарлалт хийх боломжтой.
Бүтээгдэхүүний мэдээлэл, зөвлөгөө авахыг хүсвэл манай вэбсайтад тавтай морилно уу.
Манай вэбсайт: https://www.vet-china.com/
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 30-ны хооронд