Тодорхой савлагааны процесст өөр өөр дулааны тэлэлтийн коэффициент бүхий савлагааны материалыг ашигладаг. Сав баглаа боодлын явцад ваферийг савлагааны субстрат дээр байрлуулж, дараа нь халаах, хөргөх үе шатуудыг хийж баглаа боодлыг дуусгана. Гэсэн хэдий ч хоорондоо таарахгүй байгаа тул...
Дэлгэрэнгүй уншина уу