TaC обложена сусцептор за опрема за епитаксија

Краток опис:

VET обезбедува специјализирани облоги од тантал карбид (TaC) за различни компоненти и носачи. Водечкиот процес на обложување на VET им овозможува на облогите со тантал карбид (TaC) да постигнат висока чистота, стабилност на висока температура и висока хемиска толеранција, подобрување на квалитетот на производот на кристалите SIC/GAN и слоевите EPI и продолжување на животниот век на клучните компоненти на реакторот. Употребата на облогата TaC со тантал карбид е да се реши проблемот на работ и да се подобри квалитетот на растот на кристалите, а VET ја реши технологијата за обложување со тантал карбид (CVD), достигнувајќи меѓународно напредно ниво.


Детали за производот

Ознаки на производи

TaC обложенаподлогата е тенок филм направен одтантал карбидматеријал, кој се нанесува на површината на подлогата на епитаксијалната опрема.TaC облогаима многу одлични својства, што го прави идеален избор.

TaC облогата е еден вид облога од тантал карбид (TaC) подготвена со технологија за физичко таложење на пареа, ги има следните карактеристики:

1. Висока цврстина: Тврдоста на облогата TaC е висока, обично може да достигне 2500-3000HV, е одличен тврд слој.

2. Отпорност на абење: TaC облогата е многу отпорна на абење, што може ефикасно да го намали абењето и оштетувањето на механичките делови за време на употребата.

3. Добра отпорност на високи температури: TaC облогата исто така може да ги задржи своите одлични перформанси при висока температура на околината.

4. Добра хемиска стабилност: TaC облогата има добра хемиска стабилност и може да одолее на многу хемиски реакции, како киселини и бази.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физичките својства на TaC облога

密度/ Густина

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Специфична емисивност

0.3

热膨胀系数 / Коефициент на термичка експанзија

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Цврстина (HK)

2000 HK

电阻 / Отпор

1×10-5 Ом * см

热稳定性 / Термичка стабилност

<2500℃

石墨尺寸变化 / Се менува големината на графитот

-10~-20 мм

涂层厚度 / Дебелина на облогата

≥20um типична вредност (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd е претпријатие со висока технологија што се фокусира на производство и продажба на напредни материјали од висока класа, материјали и технологија што опфаќа графит, силициум карбид, керамика, површинска обработка и така натаму. Производите се широко користени во фотоволтаични, полупроводници, нова енергија, металургија итн.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди повеќе професионални материјални решенија за вас.

Топло добредојде да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Претходно:
  • Следно:

  • WhatsApp онлајн разговор!