MOCVD графитен носач со CVD SiC облога

MOCVD графитен носач со CVD SiC слој Избрана слика

Краток опис:

VET Energy SiC обложен MOCVD Susceptor е производ со високи перформанси дизајниран да обезбеди постојани и сигурни перформанси во подолг период. Има супер добра отпорност на топлина и топлинска униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Графит обложен со SiC е клучна компонента што се користи во различни процеси на производство на полупроводници. ја користиме нашата патентирана технологија за да го направиме сусцепторот со исклучително висока чистота, добра униформност на облогата и одличен работен век, како и висока хемиска отпорност и својства на термичка стабилност.

Карактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и топлинска униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока цврстина, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имотот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на жито	2 ~ 10 μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700 ℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300 W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е вистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со различни премази како облога SiC, TaC облога, стаклен јаглероден слој, пиролитички јаглероден слој итн., Може да снабдува различни приспособени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди повеќе професионални материјални решенија за вас.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу облогата и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Топло добредојде да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!