Карактеристики:
· Одлична отпорност на термички удар
· Одлична отпорност на физички удар
· Одлична хемиска отпорност
· Супер висока чистота
· Достапност во сложена форма
· Може да се користи под оксидирачка атмосфера
Апликација:
Карактеристики и предности на производот:
1. Супериорен термички отпор:Со висока чистотаSiC облога, подлогата издржува екстремни температури, обезбедувајќи постојани перформанси во тешки средини како што се епитаксијата и производството на полупроводници.
2. Зголемена издржливост:Графитните компоненти обложени со SiC се дизајнирани да се спротивстават на хемиска корозија и оксидација, зголемувајќи го животниот век на подлогата во споредба со стандардните графитни подлоги.
3. Стаклестото тело обложено графит:Уникатната структура на стаклестото тело наSiC облогаобезбедува одлична цврстина на површината, минимизирајќи го абењето и кинењето при обработка на висока температура.
4. SiC облога со висока чистота:Нашата подлога обезбедува минимална контаминација во чувствителните полупроводнички процеси, нудејќи сигурност за индустриите кои бараат строга чистота на материјалот.
5. Апликација за широк пазар:НаГрафит обложен со SiCпазарот продолжува да расте бидејќи побарувачката за напредни производи обложени SiC во производството на полупроводници се зголемува, позиционирајќи ја оваа подлога како клучен играч и на пазарот на носачи на графитни обланди и на пазарот на графитни фиоки обложени со силициум карбид.
Типични својства на основниот графит материјал:
| Очигледна густина: | 1,85 g/cm3 |
| Електрична отпорност: | 11 μΩm |
| Флексурална сила: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Цврстина на брегот: | 58 |
| Пепел: | <5 стр./мин |
| Топлинска спроводливост: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога | |
| 性质 / Сопственост | 典型数值 / Типична вредност |
| 晶体结构 / Кристална структура | FCC β фаза 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Густина | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Цврстина | 2500 维氏硬度 (500 g оптоварување) |
| 晶粒大小 / Grain SiZe | 2 ~ 10 μm |
| 纯度 / Хемиска чистота | 99,99995% |
| 热容 / Топлински капацитет | 640 J·kg-1· К-1 |
| 升华温度 / Температура на сублимација | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Флексурална сила | 415 MPa RT 4-точка |
| 杨氏模量 / Модул на Јанг | 430 Gpa 4pt кривина, 1300℃ |
| 导热系数 / Топлинска спроводливост | 300 W·m-1· К-1 |
| 热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy е вистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со различни премази како облога SiC, TaC облога, стаклен јаглероден слој, пиролитички јаглероден слој итн., Може да снабдува различни приспособени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.
Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди повеќе професионални материјални решенија за вас.
Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу облогата и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.
Топло добредојде да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!
