SiC paninga kauwhata MOCVD Wafer kaikawe , Graphite Susceptors mo SiC Epitaxy,
Ka tuku waro ki te whakangao, ki te Graphite Susceptors, Graphite Trays, SiC Epitaxy, Wafer Susceptors,
Ko te paninga CVD-SiC nga ahuatanga o te hanganga rite, te rauemi kiato, te aukati teitei o te pāmahana, te aukati waiora, te parakore teitei, te aukati waikawa me te waikawa me te reagent waro, me nga ahuatanga o te tinana me te matū.
Ka whakatauritea ki nga rauemi graphite parakore teitei, ka timata te graphite ki te oxidize i te 400C, ka ngaro te paura na te waikura, ka puta te parahanga o te taiao ki nga taputapu peripheral me nga ruma korehau, me te whakanui ake i nga poke o te taiao tino-ma.
Engari, ka taea e te paninga SiC te pupuri i te pumau o te tinana me te matū i nga nekehanga 1600, Kei te whakamahia nuitia i roto i te ahumahi hou, ina koa i roto i te ahumahi semiconductor.
Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC.Ko te SIC i hangaia he tino herea ki te turanga kauwhata, ka hoatu ki te turanga kauwhata nga ahuatanga motuhake, na reira ka hangai te mata o te kauwhata kiato, Porosity-kore, teitei te pāmahana, te aukati waikura me te aukati waikura.
Taupānga:
Āhuatanga matua:
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:
he tino pai tonu te parenga waiora i te mea ka eke te pāmahana ki te 1700 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
Nga Whakatakotoranga Matua o nga Whakakikorua CVD-SIC:
SiC-CVD | ||
Kiato | (g/cc)
| 3.21 |
Te kaha whakaheke | (Mpa)
| 470 |
Te roha wera | (10-6/K) | 4
|
Te kawe werawera | (W/mK) | 300 |
Whakarato kaha:
10000 Piece/Pieces ia Marama
Taapapa me te Tukunga:
Taapapa: Paerewa & Kaha Tarapi
Peke poly + Pouaka + Kaata + Pallet
Tauranga:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Wā Arataki:
Rahi(Waihanga) | 1 – 1000 | >1000 |
Est.Wā(ra) | 15 | Hei whiriwhiringa |