Wao / waro hiato(ka kiia i muri nei ko "C / C ranei CFC") he momo rauemi hiato e hangai ana i runga i te waro me te whakakaha e te muka waro me ona hua (preform muka waro). Kei a ia te inertia o te waro me te kaha teitei o te muka waro. He pai nga ahuatanga o te miihini, te wera wera, te aukati waikura, te whakaheke waku me nga ahuatanga o te wera me te hiko
CVD-SiCpaninga he nga āhuatanga o te hanganga ōrite, rauemi kiato, teitei ātete pāmahana, ātete hāoratanga, teitei para, waikawa&wai ātete me te tauhohe waro, ki te pūmau āhuatanga tinana me te matū.
Āhuatanga matua:
1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.
2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.
3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga | |
| 性质 / Taonga | 典型数值 / Uara Angamaheni |
| 晶体结构 / Hanganga Kiriata | FCC β phase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Kiato | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Te pakeke | 2500 维氏硬度（500g uta） |
| 晶粒大小 / Raihi witi | 2~10μm |
| 纯度 / Matū Matū | 99.99995% |
| 热容 / Raukaha Wera | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Te Pawera Whakararo | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Te Kaha Takahuri | 415 MPa RT 4-tohu |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt piko, 1300℃ |
| 导热系数 / Ngaaahua | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Roha Weariki(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ko te VET Energy te tino kaihanga o nga hua graphite me te silicon carbide me nga paninga rereke penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaehe, te paninga waro pyrolytic, me etahi atu, ka taea te tuku i nga waahanga kua whakaritea mo te semiconductor me te ahumahi photovoltaic.
Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.
Ka whakawhanake tonu matou i nga tikanga matatau ki te whakarato rauemi matatau ake, a kua mahia e matou he hangarau arai motuhake, e taea ai te hono i waenga i te paninga me te tïpako kia piri, kia iti ake te wariu ki te wehe.
Tena koe ki te toro ki to maatau wheketere, me korero ano!
