CVD-SiCpaninga he nga āhuatanga o te hanganga ōrite, rauemi kiato, teitei ātete pāmahana, ātete hāoratanga, tiketike parakore, waikawa&wai ātete me te tauhohe waro, ki te pūmau āhuatanga tinana me te matū.

Ka whakatauritea ki nga rauemi graphite parakore teitei, ka timata te graphite ki te oxidize i te 400C, ka ngaro te paura na te waikura, ka puta te parahanga o te taiao ki nga taputapu peripheral me nga ruma korehau, me te whakanui ake i nga poke o te taiao tino-ma.

Engari, ka taea e te paninga SiC te pupuri i te pumau o te tinana me te matū i nga nekehanga 1600, Kei te whakamahia nuitia i roto i te ahumahi hou, ina koa i roto i te ahumahi semiconductor.

Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC.Ko te SIC i hangaia he tino herea ki te turanga kauwhata, ka hoatu ki te turanga kauwhata nga ahuatanga motuhake, na reira ka hangai te mata o te kauwhata kiato, Porosity-kore, teitei te pāmahana, te aukati waikura me te aukati waikura.

Āhuatanga matua:

1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:

he tino pai tonu te parenga waiora i te wa e teitei ana te pāmahana ki te 1600 C.

2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.

3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.

4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.

Nga Whakatakotoranga Matua o nga Whakakikorua CVD-SIC: