SiC paninga kauwhata MOCVD Wafer kaikawe ， Graphite Susceptors mo SiC Epitaxy

Whakaahuatanga Poto:

Wāhi Taketake:Zhejiang, Haina (Mainland)

Tau tauira:Poti3004

Hanganga matū:SiC whakakikorua kauwhata

Te kaha whakaheke:470Mpa

Te kawe werawera:300 W/mK

Kounga:Tino pai

Taumahi:CVD-SiC

Taupānga:Semiconductor /Photovoltaic

Kiato:3.21 g/cc

Roha wera:4 10-6/K

pungarehu: <5ppm

Tauira:Kei te waatea

Waehere HS:6903100000

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

SiC paninga kauwhata MOCVD Wafer kaikawe ，Nga Kaipupuri Kauwhatamo te SiC Epitaxy,
Ka tuku waro ki nga kaitarai, Nga kaitapa epitaxy susceptors, Nga Kaipupuri Kauwhata, MOCVD Susceptor, Wafer Susceptors,

Ko te paninga CVD-SiC nga ahuatanga o te hanganga rite, te rauemi kiato, te aukati teitei o te pāmahana, te aukati waiora, te parakore teitei, te aukati waikawa me te waikawa me te reagent waro, me nga ahuatanga o te tinana me te matū.

Ka whakatauritea ki nga rauemi graphite parakore teitei, ka timata te graphite ki te oxidize i te 400C, ka ngaro te paura na te waikura, ka puta te parahanga o te taiao ki nga taputapu peripheral me nga ruma korehau, me te whakanui ake i nga poke o te taiao tino-ma.

Engari, ka taea e te paninga SiC te pupuri i te pumau o te tinana me te matū i nga nekehanga 1600, Kei te whakamahia nuitia i roto i te ahumahi hou, ina koa i roto i te ahumahi semiconductor.

Ka whakaratohia e to taatau kamupene nga ratonga tukanga whakakikorua SiC ma te tikanga CVD i runga i te mata o te kauwhata, nga karamu me etahi atu taonga, kia tauhohe nga hau motuhake kei roto i te waro me te silicon i te teitei o te pāmahana ki te whiwhi i nga ngota ngota SiC parakore teitei, nga ngota ngota ka waiho ki runga i te mata o nga mea pani, hanga paparanga tiaki SIC. Ko te SIC i hangaia he tino herea ki te turanga kauwhata, ka hoatu ki te turanga kauwhata nga ahuatanga motuhake, na reira ka hangai te mata o te kauwhata kiato, Porosity-kore, teitei te pāmahana, te aukati waikura me te aukati waikura.

Taupānga:

Āhuatanga matua:

1. Te teitei o te pāmahana aukati waiora:

he tino pai tonu te parenga waiora i te mea ka eke te pāmahana ki te 1700 C.

2. Te parakore teitei: i hangaia e te waipara matū matū i raro i te ahua o te maota o te pāmahana teitei.

3. Atete te horo: te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.

4. Te aukati waikura: te waikawa, te kawakore, te tote me nga reagents waro.

Nga Whakatakotoranga Matua o nga Whakakikorua CVD-SIC:

SiC-CVD
Kiato	(g/cc)	3.21
Te kaha whakaheke	(Mpa)	470
Te roha wera	(10-6/K)	4
Te kawe werawera	(W/mK)	300

Whakarato Kaha:

10000 Piece/Pieces ia Marama
Te kete me te tuku:
Taapapa: Paerewa & Taapaki Kaha
Peeke poly + Pouaka + Kaata + Pallet
Tauranga:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Wā Arataki: