SiC paninga kauwhata MOCVD Wafer kaikawe , Graphite Susceptors moSiC Epitaxy,
Ka tuku waro ki te hunga whakaraerae, Nga kaitapa epitaxy susceptors, Nga taputapu tautoko graphite, MOCVD Susceptor, SiC Epitaxy, Wafer Susceptors,
Ko nga painga motuhake o a maatau kaitao graphite pania SiC ko te tino ma, te paninga riterite me te oranga ratonga pai. He nui hoki o ratou atete matū me nga ahuatanga pumau.
Ko te paninga SiC o te taputapu Graphite mo nga tono Semiconductor e whakaputa ana i tetahi waahanga me te tino ma me te aukati ki te hau whakahaora.
Ko te CVD SiC, ko te CVI SiC ranei ka tukuna ki te Graphite o nga waahanga hoahoa ngawari, uaua ranei. Ka taea te paninga ki nga momo matotoru me nga waahanga nui rawa atu.
Āhuatanga:
· He Pai Te Atete Ngaa Ngawha
· Tino Pai Atete Huri-a-tinana
· Tino Pai Atete Matū
· Tino Maamaa Nui
· Te waatea i roto i te Hanga Matatini
· Ka taea te whakamahi i raro i te Oxidizing Atmosphere
Taupānga:
Āhuatanga angamaheni o te Rawa Kawhata Turanga:
Kiato Putanga: | 1.85 g/cm3 |
Ātete Hiko: | 11 μΩm |
Te Kaha Toka: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
Maamaa Takutai: | 58 |
pungarehu: | <5ppm |
Kawenga Ngawha: | 116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃) |
Ka tuku waro ki te hunga whakaraeraeme nga wahanga kauwhata mo nga reactors epitaxy katoa o naianei. Kei roto i ta maatau kopaki nga kaitao paera mo nga waeine tono me te LPE, nga kaitutei panekeke mo nga waeine LPE, CSD, me Gemini, me nga kaiawhina wafer kotahi mo nga waahanga tono me te ASM. tuku te hoahoa tino pai mo to tono.