PECVD Uta Paepae Deposition Graphite Paepae

Whakaahuatanga Poto:

I hangaia te Paepae Uta PECVD a VET Energy ki te whakarato haumaru me te tautoko mo nga wafers i te wa e tuku ana, hei whakapai ake i te rite me te kounga o te tukanga tuku. Ma te tino pai o te wera wera, ka awhina te Graphite Tray ki te pupuri i tetahi taiao whakahaere i roto i nga ruma PECVD, ka whakaiti i te tupono o te poke me te whakarite kia pai te mahi.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

VET Energy Ko te paepae uta PECVD he kaikawe tika i hangaia mo te PECVD (whakapai ake i te whakahekenga kohu matū plasma) tukanga. He mea hanga tenei paepae graphite waipara teitei i te parakore teitei, te papanga graphite teitei. He pai rawa atu te pāmahana teitei, te aukati waikura, te pumau o te ahu me etahi atu ahuatanga. Ka taea e ia te whakarato i tetahi papaa kawe mo te tukanga PECVD me te whakarite i te rite me te papatahi o te whakatakoto kiriata.

Ko te VET Energy PECVD kei te whakamahia nga paepae utaina i roto i te hikohiko, photovoltaic, LED me etahi atu mara. Hei tauira:

▪ Te Waahanga: Te tukanga PECVD mo nga rauemi hiko penei i te angiangi silicon me te angiangi epitaxial.

▪ Photovoltaic: Te tukanga PECVD mo nga kiriata angiangi pūtau solar.

▪ LED: Te tukanga PECVD mo nga maramara LED.

Hua Painga

▪Whakapai ake i te kounga kiriata:Me whakarite kia rite te whakatakoto kiriata me te whakapai ake i te kounga o te kiriata.

▪Whakaroahia te ora o nga taputapu:He pai te aukati i te waikura, te roa o te oranga o nga taputapu PECVD.

▪Whakaitihia nga utu whakaputa:Ka taea e nga paepae kauwhata kounga teitei te whakaheke i te reiti mokemoke me te whakaheke i nga utu whakaputa.

Rauemi kawhata mai i te SGL:

Tawhā angamaheni: R6510
Taurangi	Paerewa whakamatautau	Uara	Waeine
Te rahi o te witi	ISO 13320	10	μm
Kiato rahi	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosity tuwhera	DIN66133	10	%
Te rahi o te pore	DIN66133	1.8	μm
Te uruhanga	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell pakeke HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Te parenga hiko motuhake	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Te kaha whakaheke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Te kaha kōpeke	DIN 51910	130	MPa
Kōwae o Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Roha wera(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Te kawe werawera (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

He mea hanga motuhake mo te hangai o nga pūtau solar tino pai, e tautoko ana i te tukatuka wafer nui-rahi G12. Ko te hoahoa kaikawe kua pai ake te whakanui ake i te whakaputanga, ka kaha ake nga reeti hua me te whakaheke i nga utu whakaputa.

Tūemi	Momo	Kaikawe angiangi tau
PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 156	156-13 poti grephite	144
	156-19 poti grephite	216
	156-21 poti grephite	240
	156-23 poti kauwhata	308
PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 125	125-15 poti grephite	196
	125-19 poti grephite	252
	125-21 poti graphite	280