Kaipupuri Wafer Wafer Graphite mo te PECVD

Pupuri Wafer Wafer Graphite mo te PECVD Atahanga Whakaatu

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Kaipupuri Taapapa Graphite a VET Energy i hangaia hei pupuri i te tirohanga angiangi me te pumau puta noa i te tukanga PECVD, hei aukati i te poke me te whakaiti i te tupono o te kino. Ko te Graphite Wafer Holder e whakarato ana i tetahi papaa haumaru, ara, me te whakarite kia noho rite nga angiangi ki te plasma mo te noho rite me te kounga teitei. Na te kaha o te waiariki me te kaha nui, ka awhina tenei kaipupuri ki te whakapai ake i te pai o te tukanga me te mahi hua.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder he kaikawe tika i hangaia mo te PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ko tenei Kaipupuri Paepae Graphite-kounga teitei he mea hanga mai i te parakore teitei, te teitei o te papanga graphite, me te tino pai o te pāmahana teitei, te aukati waikura, te pumau o te rahi me etahi atu ahuatanga. Ka taea e ia te whakarato i te turanga tautoko pumau mo te tukanga PECVD me te whakarite i te rite me te papatahi o te whakatakoto kiriata.

VET Energy PECVD process graphite wafer support table has the following features :

▪Te parakore teitei:tino iti te poke o te ihirangi, karo i te poke o te kiriata, te whakarite i te kounga o te kiriata.

▪Kiato teitei:teitei teitei, te kaha miihini teitei, ka taea te tu atu i te pāmahana teitei me te pehanga teitei o te taiao PECVD.

▪Pumautanga ahu pai:huringa ahu iti i te pāmahana tiketike, whakarite pūmautanga tukanga.

▪He pai te kawe werawera:pai te whakawhiti i te wera kia kore ai e wera te angiangi.

▪He kaha te waikura:Ka taea e ia te aukati i te horo e nga momo hau me te plasma.

▪Ratonga Whakaritea:Ko nga ripanga tautoko graphite he rereke nga rahi me nga ahua ka taea te whakarite kia rite ki nga hiahia o nga kaihoko.

Hua Painga

▪Whakapai ake i te kounga kiriata:Me whakarite kia rite te whakatakoto kiriata me te whakapai ake i te kounga o te kiriata.

▪Whakaroahia te ora o nga taputapu:He pai te aukati i te waikura, te roa o te oranga o nga taputapu PECVD.

▪Whakaitihia nga utu whakaputa:Ka taea e nga paepae kauwhata kounga teitei te whakaheke i te reiti mokemoke me te whakaheke i nga utu whakaputa.

Rauemi kawhata mai i te SGL:

Tawhā angamaheni: R6510
Taurangi	Paerewa whakamatautau	Uara	Waeine
Te rahi o te witi	ISO 13320	10	μm
Kiato rahi	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porosity tuwhera	DIN66133	10	%
Te rahi o te pore	DIN66133	1.8	μm
Te uruhanga	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell pakeke HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Te parenga hiko motuhake	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Te kaha whakaheke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Te kaha kōpeke	DIN 51910	130	MPa
Kōwae o Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Roha wera(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Te kawe werawera (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

He mea hanga motuhake mo te hangai o nga pūtau solar tino pai, e tautoko ana i te tukatuka wafer nui-rahi G12. Ko te hoahoa kaikawe kua pai ake te whakanui ake i te whakaputanga, ka kaha ake nga reeti hua me te whakaheke i nga utu whakaputa.

Tūemi	Momo	Kaikawe angiangi tau
PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 156	156-13 poti grephite	144
	156-19 poti grephite	216
	156-21 poti grephite	240
	156-23 poti kauwhata	308
PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 125	125-15 poti grephite	196
	125-19 poti grephite	252
	125-21 poti graphite	280