VET Energy PECVD tukanga graphite angiangi tautoko he tino pau i hangaia mo te PECVD (whakapai ake i te plasma kohu matū waipara). Ko tenei hua he mea hanga mai i nga papanga graphite teitei, teitei-nui, me te tino pai o te pāmahana teitei, te aukati waikura, te pumau o te rahi me etahi atu ahuatanga, ka taea te whakarato i te turanga tautoko pumau mo te tukanga PECVD, ki te whakarite i te rite me te papatahi o te whakatakotoranga kiriata.
Ko te "tautoko graphite" o te tautoko VET Energy graphite wafer e kore e taea anake te tautoko i te wafer, engari ka whakarato ano hoki i te pumau o te waiariki i roto i te teitei teitei me te teitei o te taiao PECVD ki te whakarite i te pumau o te tukanga.
VET Energy PECVD tukanga graphite wafer tautoko e whai ake nei nga ahuatanga:
▪Te parakore teitei:tino iti te poke, karo i te poke o te kiriata, ki te whakarite i te kounga o te kiriata.
▪Kiato teitei:teitei teitei, te kaha miihini teitei, ka taea te tu atu i te pāmahana teitei me te pehanga teitei o te taiao PECVD.
▪Pumautanga ahu pai:huringa ahu iti i te pāmahana tiketike ki te whakarite i te pūmautanga o te tukanga.
▪He pai te kawe werawera:pai te whakawhiti i te wera kia kore ai e wera te angiangi.
▪He kaha te waikura:He kaha ki te aukati i te horo e nga momo hau haupapa me te plasma.
▪Ratonga Whakaritea:Ka taea te whakarite i nga ripanga tautoko graphite he rereke nga rahi me nga ahua kia rite ki nga hiahia o nga kaihoko.
Rauemi kawhata mai i te SGL:
| Tawhā angamaheni: R6510 | |||
| Taurangi | Paerewa whakamatautau | Uara | Waeine |
| Te rahi o te witi | ISO 13320 | 10 | μm |
| Kiato rahi | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Porosity tuwhera | DIN66133 | 10 | % |
| Te rahi o te pore | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Te uruhanga | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell pakeke HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Te parenga hiko motuhake | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Te kaha whakaheke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Te kaha kōpeke | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Kōwae o Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Roha wera(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Te kawe werawera (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
He mea hanga motuhake mo te hangai o nga pūtau solar tino pai, e tautoko ana i te tukatuka wafer nui-rahi G12. Ko te hoahoa kaikawe kua pai ake te whakanui ake i te whakaputanga, ka kaha ake nga reeti hua me te whakaheke i nga utu whakaputa.
| Tūemi | Momo | Kaikawe angiangi tau |
| PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 156 | 156-13 poti grephite | 144 |
| 156-19 poti grephite | 216 | |
| 156-21 poti grephite | 240 | |
| 156-23 poti kauwhata | 308 | |
| PEVCD Grephite poti - Ko te raupapa 125 | 125-15 poti grephite | 196 |
| 125-19 poti grephite | 252 | |
| 125-21 poti graphite | 280 |
