Ka rite ki te whakaatu i runga ake nei, he tikanga
Te haurua tuatahi:
Huānga Whakawera (poi whakawera) : kei te taha o te ngongo oumu, i te nuinga o te waa he mea hanga mai i nga waea aukati, hei whakamahana i roto o te ngongo oumu.
Tube Quartz: Ko te uho o te oumu waiora wera, he mea hanga ki te kiripaka tino parakore e taea te tu atu i te wera nui me te noho matū koretake.
Whangai hau: Kei te taha o runga, i te taha ranei o te ngongo oumu, ka whakamahia hei kawe i te hāora me etahi atu hau ki roto o te ngongo oumu.
SS Flange: nga waahanga e hono ana i nga ngongo kiripaka me nga raina hau, kia mau te piri me te pumau o te hononga.
Nga Raina Whangai Hau: Nga paipa e hono ana i te MFC ki te tauranga tuku hau mo te tuku hau.
MFC (Mass Flow Controller) : He taputapu e whakahaere ana i te rere o te hau i roto i te ngongo kiripaka hei whakarite tika i te nui o te hau e hiahiatia ana.
Putanga: Ka whakamahia ki te tuku i te hau pau mai i roto i te ngongo oumu ki waho o te taputapu.
Te wahanga o raro
Silicon Wafers in Holder: Ka noho nga wafers Silicon ki roto i tetahi Pupuri motuhake hei whakarite i te wera o te wera i te wa o te waikura.
Wafer Holder: Ka whakamahia hei pupuri i te wafer silicon me te whakarite kia mau tonu te wafer silicon i roto i te tukanga.
Paerewa: He anga e mau ana i te Puapu angiangi silicon, i te nuinga o te waa he mea hanga mai i te papanga wera teitei.
Elevator: I whakamahia ki te hiki i te Wafer holder ki roto, ki waho hoki o nga ngongo kiripaka mo te uta aunoa me te tango i nga wafers silicon.
Wafer Transfer Robot: kei te taha o te taputapu ngongo oumu, ka whakamahia ki te tango aunoa i te wafer silicon mai i te pouaka ka tuu ki roto i te ngongo oumu, ka tangohia ranei i muri i te tukatuka.
Carousel Rokiroki Ripene: Ka whakamahia te carousel rokiroki rīpene ki te penapena i tetahi pouaka kei roto nga angiangi silicon ka taea te huri mo te urunga karetao.
Rīpene Wafer: ka whakamahia te rīpene angiangi ki te penapena me te whakawhiti i ngā angiangi angiangi ki te tukatuka.
Te wa tuku: Apr-22-2024