Ko te hanga o ia hua semiconductor e hia rau nga tukanga. Ka wehea e matou te katoa o nga mahi hangahanga kia waru nga waahanga:angiangite tukatuka-whakaora-whakaahua-whakaahua-whakaahua-whakaahua kiriata angiangi-te tipu-epitaxial tipu-whakawhitinga-katote implantation.
Hei awhina i a koe ki te mohio me te mohio ki nga semiconductors me nga tukanga e pa ana, ka panaia e matou nga tuhinga WeChat i ia putanga ki te whakauru takitahi i ia waahanga o runga ake nei.
I roto i te tuhinga o mua, i whakahuahia hei tiaki i teangiangimai i nga momo poke, ka mahia he kiriata waikura--te mahi whakangao. I tenei ra ka matapakihia te "whakaahua whakaahua" mo te whakaahua i te iahiko hoahoa semiconductor i runga i te angiangi me te kiriata waikura i hangaia.
Te tukanga Photolithography
1. He aha te tukanga photolithography
Ko te whakaahua whakaahua he hanga iahiko me nga waahi mahi e hiahiatia ana mo te hanga maramara.
Ko te rama e tukuna ana e te miihini whakaahua whakaahua ka whakamahia hei whakaatu i te kiriata angiangi kua pania ki te photoresist na roto i te kanohi me te tauira. Ka huri te photoresist i ona ahuatanga i muri i te kitenga o te marama, kia kapehia te tauira i runga i te kanohi ki te kiriata angiangi, kia whai mahi te kiriata angiangi ki te hoahoa hiko hiko. Koinei te mahi o te whakaahua whakaahua, he rite ki te tango pikitia ma te kamera. Ko nga whakaahua i tangohia e te kaamera ka taia ki runga i te kiriata, i te mea kaore te whakaahua whakaahua e whakairo i nga whakaahua, engari ko nga hoahoa iahiko me etahi atu waahanga hiko.
Ko te Photolithography he hangarau miihini moroiti
Ko te photolithography tikanga he tukanga e whakamahi ana i te rama ultraviolet me te roangaru o te 2000 ki te 4500 angstroms hei kawe korero whakaahua, me te whakamahi i te photoresist hei reo takawaenga (whakaahua whakaahua) hei whakatutuki i te huringa, te whakawhiti me te tukatuka o nga whakairoiro, ka mutu ka tukuna te ahua. nga korero ki te maramara (te nuinga o te maramara silicon) te paparanga dielectric ranei.
Ka taea te kii ko te photolithography te turanga o te semiconductor hou, microelectronics, me nga ahumahi korero, a ko te photolithography e whakatau tika ana i te taumata whanaketanga o enei hangarau.
I roto i nga tau neke atu i te 60 mai i te tenenga angitu o nga hikoi whakauru i te tau 1959, kua whakahekehia te whanui raina o ana whakairoiro e tata ana ki te wha ota o te nui, a kua pai ake te whakaurunga ara iahiko e neke atu i te ono ota o te nui. Ko te tere o te ahunga whakamua o enei hangarau e kiia ana ko te whanaketanga o te whakaahua whakaahua.
(Nga whakaritenga mo te hangarau whakaahua whakaahua i nga waahanga rereke o te whakawhanaketanga o te hanga ara iahiko whakauru)
2. Nga maapono taketake o te whakaahua whakaahua
Ko nga rauemi Photolithography te tikanga e korero ana ki nga photoresists, e mohiotia ana ano he photoresists, koinei nga mea tino nui mo te mahi whakaahua. Ko tenei momo rauemi he ahuatanga o te marama (tae atu ki te marama ka kitea, te rama ultraviolet, te kurupae irahiko, me etahi atu) tauhohenga. Whai muri i te tauhohenga whakaahua matū, ka tino rerekee tona memehatanga.
I roto ia ratou, ka piki ake te whakarewatanga o te photoresist pai i roto i te kaiwhakawhanake, a ko te tauira i whiwhi he rite ki te kanohi kanohi; Ko te photoresist kino he rereke, ara, ka heke te memehatanga, ka kore ranei e rewa i muri i te pa atu ki te kaiwhakawhanake, a, ko te tauira i whiwhi he anga ke atu ki te kanohi. He rereke nga waahanga tono o nga momo photoresists e rua. He nui ake te whakamahi i nga photoresists pai, neke atu i te 80% o te katoa.
Ko te mea i runga ake nei he hoahoa hoahoa o te tukanga whakaahua whakaahua
(1) Whakapiri:
Arā, te hanga i te kiriata photoresist me te matotoru rite, te adhesion kaha me te kore koha ki runga i te angiangi silicon. Hei whakanui ake i te whakapiri i waenga i te kiriata photoresist me te angiangi silicon, he mea tika kia whakarereke tuatahi i te mata o te wafer silicon me nga matū penei hexamethyldisilazane (HMDS) me te trimethylsilyldiethylamine (TMSDEA). Na, ka rite te kiriata photoresist ma te paninga miro.
(2) Tuhinga o mua:
Whai muri i te paninga miro, kei roto tonu i te kiriata photoresist etahi momo whakarewa. I muri i te tunu i te pāmahana teitei ake, ka taea te tango i te whakarewa i te iti rawa. I muri i te tunu kai, ka heke te ihirangi o te photoresist ki te 5%.
(3) Whakaaturanga:
Arā, ka kitea te photoresist ki te marama. I tenei wa, ka puta he photoreaction, ka puta te rereketanga o te whakarewatanga i waenga i te waahanga marama me te waahanga kore-marama.
(4) Whanaketanga me te whakapakeke:
Ka rukuhia te hua ki te kaiwhakawhanake. I tenei wa, ko te waahi o te photoresist pai me te waahi kaore i kitea o te photoresist kino ka memeha i roto i te whanaketanga. He tauira ahu-toru tenei. I muri i te whakawhanaketanga, ka hiahiatia e te maramara he tukanga maimoatanga teitei-te wera kia noho hei kiriata pakeke, ko te nuinga o te mahi ki te whakarei ake i te piri o te photoresist ki te tïpako.
(5) Te tuhi:
Ko nga mea i raro i te photoresist kua tarai. Kei roto ko te wai makuku te wai me te hau maroke maroke. Hei tauira, mo te makuku o te silicon, ka whakamahia he wairewa wai waikawa o te waikawa waiwaro; mo te maku o te parahi, ka whakamahia he wairewa waikawa kaha penei i te waikawa nitric me te waikawa pungatara, engari he maha nga wa e whakamahia ana e te tarai maroke te plasma, nga kurupae katote kaha-kaha ranei hei kino i te mata o te papanga me te tarai.
(6) Whakakore kapia:
Ka mutu, me tango te photoresist mai i te mata o te arotahi. Ko tenei taahiraa e kiia ana ko te degumming.
Ko te haumaru te take tino nui i roto i nga mahi whakangao semiconductor. Ko nga hau whakaahua whakaahua tino kino me te kino i roto i te tukanga lithography maramara e whai ake nei:
1. Te hauwai peroxide
Ko te hauwai peroxide (H2O2) he hāora kaha. Ko te whakapiri tika ka pa mai te mumura o te kiri me te kanohi me te wera.
2. Xylene
He whakarewa me te kaiwhakawhanake a Xylene i whakamahia i roto i nga mahi lithography kino. He muramura, he iti te pāmahana o te 27.3 ℃ (tata ki te pāmahana rūma). He pahū ina 1%-7% te kukū o te hau. Ko te whakapiri tonu ki te xylene ka mate te kiri. He reka te kohu Xylene, he rite ki te haunga o te taraka rererangi; Ko te rongo ki te xylene ka puta te mumura o nga kanohi, ihu me te korokoro. Ko te whakangohutanga o te hau ka pa te upoko, te mangere, te ngaro o te hiahia me te ngenge.
3. Hexamethyldisilazane (HMDS)
Ko te Hexamethyldisilazane (HMDS) ka whakamahia hei paparanga tuatahi hei whakanui ake i te piri o te photoresist ki te mata o te hua. He muramura, he 6.7°C te ira hiko. He pahū ina 0.8%-16% te kukū o te hau. Ka kaha te urupare a HMDS ki te wai, te waipiro me te waikawa kohuke hei tuku i te haukini.
4. Tetramethylammonium hydroxide
Ko te Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) e whakamahia nuitia ana hei kaiwhakawhanake mo te tuhi tuhi pai. He paitini, he pirau. Ka mate pea mena ka horomia, ka pa atu ranei ki te kiri. Ko te pa atu ki te puehu TMAH me te kohu ka puta te mumura o nga kanohi, kiri, ihu me te korokoro. Ko te ngohanga o te nui o te TMAH ka mate.
5. Chlorine me te fluorine
Ko te chlorine (Cl2) me te fluorine (F2) e whakamahia ana i roto i nga laser excimer hei puna marama ultraviolet hohonu me te tino ultraviolet (EUV). He paitini nga hau e rua, he kakariki marama te ahua, he kaha te hongi kino. Ko te whakamahutanga o enei hau ka mate. Ka tauhohe pea te hau kareoro ki te wai ki te whakaputa hau hauwai pūkōwhai. Ko te hauwai hauwai he waikawa kaha e whakapataritari ai i te kiri, i nga kanohi me te ara manawa, ka puta pea nga tohu penei i te wera me te uaua ki te manawa. Ko te nui o te kaha o te fluoride ka paona ki te tinana o te tangata, ka puta nga tohu penei i te mahunga, te ruaki, te korere, me te koma.
6. Argon
Ko te Argon (Ar) he hau mokowhiti e kore e tino kino ki te tinana o te tangata. I raro i nga ahuatanga noa, ko te hau e manawahia ana e te tangata kei roto i te 0.93% argon, a kaore he paanga o tenei kukū ki te tinana o te tangata. Heoi, i etahi wa, ka raru pea te argon ki te tinana o te tangata.
Anei etahi ahuatanga ka taea: I roto i te waahi kati, ka piki ake te kukū o te argon, na reira ka heke te kukū o te hāora i roto i te rangi ka puta te hypoxia. Ka puta pea nga tohu penei i te mangere, te ngenge, me te poto o te manawa. I tua atu, he hau koretake te argon, engari ka pahū pea i raro i te pāmahana teitei, te pehanga teitei ranei.
7. Neon
Ko te hau haukura (Ne) he hau pumau, kore tae me te hongi karekau e uru ki roto Ko te hau haukura e kore e uru ki roto i te tukanga manawa o te tangata, no reira ko te manawa i roto i te kukū nui o te hau haukura ka puta te hypoxia. Mena kei te noho koe i te ahua o te hypoxia mo te wa roa, ka pa ki a koe nga tohu penei i te mahunga, te nausea, me te ruaki. I tua atu, ka tauhohe te hau haukura ki etahi atu matū i raro i te pāmahana teitei, te pehanga teitei ranei ka puta he ahi, he pahū ranei.
8. Xenon hau
Ko te hau Xenon (Xe) he hau pumau, kore tae me te hongi e kore e uru ki roto i te tukanga manawa o te tangata, no reira ko te manawa i roto i te kukū nui o te hau xenon ka puta te hypoxia. Mena kei te noho koe i te ahua o te hypoxia mo te wa roa, ka pa ki a koe nga tohu penei i te mahunga, te nausea, me te ruaki. I tua atu, ka tauhohe te hau haukura ki etahi atu matū i raro i te pāmahana teitei, te pehanga teitei ranei ka puta he ahi, he pahū ranei.
9. Krypton hau
Ko te hau krypton (Kr) he hau pumau, kore tae me te kakara karekau e uru ki roto i te tukanga manawa o te tangata, no reira ko te manawa i roto i te kukū nui o te hau krypton ka puta te hypoxia. Mena kei te noho koe i te ahua o te hypoxia mo te wa roa, ka pa ki a koe nga tohu penei i te mahunga, te nausea, me te ruaki. I tua atu, ka tauhohe te hau xenon me etahi atu matū i raro i te pāmahana teitei, te pehanga teitei ranei ka puta he ahi, he pahūtanga ranei. Ko te manawa i roto i te taiao me te kore o te hāora ka puta he hypoxia. Mena kei te noho koe i te ahua o te hypoxia mo te wa roa, ka pa ki a koe nga tohu penei i te mahunga, te nausea, me te ruaki. I tua atu, ka tauhohe pea te hau krypton me etahi atu matū i raro i te pāmahana teitei, te pehanga teitei ranei ka puta he ahi, he pahū ranei.
Ko nga otinga rapu hau morearea mo te ahumahi semiconductor
Ko te ahumahi semiconductor ko te hanga, te whakangao, me te tukanga o nga hau mura, pahū, paitini, me te kino. Hei kaiwhakamahi hau i roto i nga tipu whakangao semiconductor, me mohio nga kaimahi katoa ki nga raraunga haumaru o nga momo hau morearea i mua i te whakamahi, me te mohio me pehea te whakahaere i nga tikanga ohorere ina pakaru enei hau.
I roto i te hanga, te hanga, me te rokiroki o te ahumahi semiconductor, kia kore ai e ngaro te oranga me nga rawa na te rerenga o enei hau morearea, he mea tika ki te whakauru i nga taputapu tirotiro hau kia kitea ai te hau i whaaia.
Ko nga kaitirotiro hau kua noho hei taputapu tirotiro taiao i roto i te umanga semiconductor o enei ra, a ko nga taputapu aro turuki tika hoki.
I aro tonu a Riken Keiki ki te whakawhanaketanga haumaru o te umanga whakangao semiconductor, me te kaupapa o te hanga i tetahi taiao mahi haumaru mo te tangata, a kua whakapau kaha ki te whakawhanake i nga pukoro hau e tika ana mo te umanga semiconductor, e whakarato ana i nga otinga whaitake mo nga momo raru e pa ana ki a ia. nga kaiwhakamahi, me te whakapai tonu i nga mahi hua me te whakapai i nga punaha.
Wā tuku: Hūrae-16-2024