Ko te hanga taputapu Semiconductor te nuinga kei roto i nga taputapu motuhake, iahiko whakauru me o raatau mahi whakangao.
Ka taea te wehea te hanga Semiconductor ki nga waahanga e toru: te hanga taonga tinana hua, huaangiangihangahanga me te huinga taputapu. I roto ia ratou, ko te parahanga tino kino ko te wahanga hanga angiangi hua.
Ko te nuinga o nga mea poke ka wehewehea ki te wai para, te hau para me te para totoka.
Te tukanga hanga maramara:
Silicon waferi muri i te hurihanga o waho - te horoi - te waikura - te parenga kakahu - photolithography - te whanaketanga - te whakamaroke - te whakamaaramatanga, te whakaurunga katote - te whakaheke matū matū - te whakakorikori miihini matū - te whakarewa, aha atu.
Wai para
He nui te wai para i roto i ia taahiraa o te hanga semiconductor me te whakamatautau whakakakahu, te nuinga o te wai para waikawa-waikawa, te wai para ammonia me te wai para pararopi.
1. Wai parakore kei roto i te Fluorine:
Ko te waikawa Hydrofluoric te whakarewa matua e whakamahia ana i roto i nga mahi whakangao me nga tukanga etching na te mea he mea whakapouri me te pirau. Ko te wai parakore kei roto i te mahi ka ahu mai i te tikanga whakamaarama me te mahi whakakoi miihini matū i roto i te mahi hanga maramara. I roto i te tukanga horoi o nga angiangi silicon me nga taputapu e pa ana, he maha nga wa e whakamahia ana te waikawa waikawa. Ka oti enei mahi katoa i roto i nga taika tarai i whakatapua, i nga taputapu horoi ranei, na reira ka taea te tuku i te wai para fluorine ki roto i a raatau. E ai ki te kukū, ka taea te wehea ki te wai para-fluorine-kei roto me te wai para-kore te haukini-iti. Ko te tikanga, ka eke te kukū o te wai para te haukini-nui ki te 100-1200 mg/L. Ko te nuinga o nga kamupene ka hangarua i tenei waahanga o te wai para mo nga tukanga kaore e hiahiatia te kounga o te wai.
2. Wai para waikawa-papa:
Tata ki nga tukanga katoa i roto i te tukanga whakangao iahiko whakauru me horoi te maramara. I tenei wa, ko te waikawa pungatara me te hauwai peroxide nga wai horoi e tino whakamahia ana i roto i nga mahi whakangao iahiko whakauru. I te wa ano, ka whakamahia ano nga reagents acid-base penei i te waikawa nitric, waikawa waikawa me te wai haukini.
Ko te wai para waikawa-papa o te mahi whakangao te nuinga ka ahu mai i te mahi horoi i roto i te mahi hanga maramara. I roto i te tukanga takai, ka tukuna te maramara ki te otinga waikawa-turanga i te wa e whakakikoruatia ana me te tātari matū. I muri i te maimoatanga, me horoi ki te wai parakore kia puta he wai para horoi waikawa-papa. I tua atu, ka whakamahia ano nga reagents waikawa-papa penei i te konutai waikawa me te waikawa maaota i roto i te teihana wai parakore ki te whakahou i nga kapia anion me te cation ki te whakaputa i te wai para o te whakahou i te waikawa. Ka puta ano te wai horoi hiku i te wa o te horoinga hau para waikawa-papa. I roto i nga kamupene hanga taiawhio whakauru, he tino nui te nui o te wai para-waikawa.
3. Wai para pararopi:
Na te rereke o nga mahi whakaputa, he rereke te nui o nga whakarewa pararopi e whakamahia ana i roto i te umanga semiconductor. Heoi, hei kai horoi, ka whakamahia tonu nga whakarewa pararopi i roto i nga momo hononga o te whakangao whakangao. Ko etahi whakarewa ka waiho hei para para waiora.
4. Ētahi atu wai para:
Ka whakamahia e te tukanga tarai o te hangahanga haukini te nui o te haukinia, te fluorine me te wai parakore-nui mo te whakakorenga, na reira ka whakaputa i te rerenga wai paru kei roto i te haukini.
Ko te tukanga whakakikorua hiko e hiahiatia ana i roto i te tukanga whakangao semiconductor. Me horoi te maramara i muri i te whakakikoruatanga hiko, ka puta te wai para horoi hiko i roto i tenei mahi. I te mea ka whakamahia etahi konganuku ki te whakakikorua hiko, ka puta mai nga katote katote i roto i te wai para horoi horoi hiko, penei i te mata, te tine, te kōpae, te konutea, te konumohe, aha atu.
Momo hau
I te mea he tino nui nga whakaritenga o te mahi semiconductor mo te ma o te ruuma whakahaere, ka whakamahia nga kaiwhaiwhai ki te tango i nga momo hau paru kua pakaru i te waa o te mahi. Na reira, ko nga tukunga hau para i roto i te umanga semiconductor e tohuhia ana e te rahi o te ruha me te iti o te kukū. Ko nga tukunga hau para kino kei te tino whakahekehia.
Ka taea te wehewehea enei tukunga hau para ki nga waahanga e wha: hau waikawa, hau kawakore, hau para para me te hau paitini.
1. hau para waikawa-papa:
Ka puta te nuinga o te hau para waikawa-waa mai i te diffusion,CVD, CMP me nga tukanga tarai, e whakamahi ana i te otinga horoi waikawa-waahi hei horoi i te angiangi.
I tenei wa, ko te whakarewanga horoi e whakamahia nuitia ana i roto i te hangahanga semiconductor he ranunga o te hauwai hauwai me te waikawa pungatara.
Ko te hau ururua ka puta i roto i enei mahinga ko nga hau waikawa penei i te waikawa pungatara, waikawa waiwaro, waikawa waikawa, waikawa nitric me te waikawa phosphoric, ko te hau kawakore ko te haukini te nuinga.
2. hau para pararopi:
Ko te hau para pararopi te nuinga ka ahu mai i nga mahi penei i te whakaahua whakaahua, te whanaketanga, te tarai me te tohatoha. I roto i enei tukanga, ka whakamahia te otinga pararopi (penei i te waipiro isopropyl) ki te horoi i te mata o te angiangi, a ko te hau para i puta mai i te whakapohehe ko tetahi o nga puna o te hau para pararopi;
I te wa ano, ko te photoresist (photoresist) e whakamahia ana i roto i te tukanga o te whakaahua whakaahua me te taraihi kei roto i nga whakarewa pararopi, penei i te butyl acetate, ka rere ki roto i te hau i te wa o te tukatuka wafer, koinei tetahi atu puna o te hau paru pararopi.
3. hau para paitini:
Ko te hau para paitini ka ahu mai i nga tikanga penei i te epitaxy tioata, te tarai maroke me te CVD. I roto i enei mahinga, ka whakamahia nga momo hau motuhake tino parakore ki te tukatuka i te angiangi, penei i te silicon (SiHj), phosphorus (PH3), carbon tetrachloride (CFJ), borane, boron trioxide, me etahi atu. te hau me te pirau.
I te wa ano, i roto i te whakamaroke maroke me te horoi horoi i muri i te whakahekenga matū matū i roto i te hanga semiconductor, he nui te hau o te waikura katoa (PFCS) e hiahiatia ana, penei i te NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, me era atu. he kaha te whakauru ki roto i te rohe marama infrared ka noho ki te hau mo te wa roa. I te nuinga o te wa ka kiia ko ratou te puna matua o te paanga kati kati o te ao.
4. Tukatuka mokemoke hau para:
Ka whakatauritea ki te mahi whakangao semiconductor, he maamaa noa te hau para i hangaia e te tukanga whakangao semiconductor, te nuinga o te hau waikawa, te kapia epoxy me te puehu.
Ko te hau paru waikawa te nuinga ka mahia i roto i nga tikanga penei i te whakakikorua hiko;
Ko te hau parapara tunu ka puta i roto i te tukanga tunu i muri i te whakapiri hua me te hiri;
Ka mahia e te miihini taraihu te hau paru kei roto i te puehu silicon i roto i te mahi tapahi angiangi.
Nga raruraru parahanga taiao
Mo nga raruraru parahanga taiao i roto i te ahumahi semiconductor, ko nga raru nui me whakatika ko:
· Te whakaputanga nui o te parahanga hau me nga puhui pararopi (VOC) i roto i te tukanga whakaahua whakaahua;
· Te tukunga o nga pūhui perfluorinated (PFCS) i roto i te wai o te plasma me nga tukanga whakaheke kohu matū;
· Te kai nui o te kaha me te wai i roto i te hanga me te tiaki haumaru o nga kaimahi;
· Te hangarua me te tirotiro parahanga o nga hua-a-muri;
· Nga raruraru o te whakamahi matū morearea i roto i nga mahi whakangao.
Te hanga ma
Ka taea te whakapai ake i te hangarau whakangao ma te taputapu Semiconductor mai i nga waahanga o nga rawa mata, nga tukanga me te mana whakahaere.
Te whakapai ake i nga rauemi mata me te kaha
Tuatahi, me tino whakahaere te ma o nga rawa ki te whakaiti i te whakaurunga o nga poke me nga matūriki.
Tuarua, ko nga momo pāmahana, te kitenga turuturu, te wiri, te ngaohiko hiko teitei me etahi atu whakamatautau me whakahaere i runga i nga waahanga taumai, i nga hua kua oti ranei i mua i te whakaurunga ki te mahi.
I tua atu, me tino whakahaere te ma o nga rauemi awhina. He maha nga hangarau ka taea te whakamahi mo te hanga hiko ma.
Arotau tukanga whakaputa
Ko te ahumahi semiconductor ake e ngana ana ki te whakaiti i tana paanga ki te taiao ma te whakapai ake i te hangarau.
Hei tauira, i te tekau tau atu i 1970, i whakamahia te nuinga o nga whakarewa pararopi hei horoi i nga angiangi i roto i te hangarau horoi ara iahiko whakauru. I te tekau tau atu i 1980, ka whakamahia nga wairewa waikawa me te kawakore penei i te waikawa sulfuric hei horoi i nga angiangi. Tae noa ki te tekau tau atu i 1990, i whakawhanakehia te hangarau horoi hauhau plasma.
Mo te ahua o te kohinga, ko te nuinga o nga kamupene kei te whakamahi i te hangarau whakakikorua i tenei wa, ka nui te parahanga whakarewa ki te taiao.
Heoi, kua kore e whakamahia e nga tipu kapi i Shanghai te hangarau whakakikorua hiko, no reira karekau he paanga o nga konganuku taumaha ki te taiao. Ka kitea ko te ahumahi semiconductor kei te whakaheke haere i tana paanga ki te taiao na roto i nga whakapainga tukanga me te whakakapi matū i roto i tana ake tukanga whanaketanga, e whai ana hoki i te ahua o te whakawhanaketanga o te ao o naianei o te tukanga whakatairanga me te hoahoa hua i runga i te taiao.
I tenei wa, he maha ake nga whakapainga o nga mahi a-rohe e mahia ana, tae atu ki:
·Whakakapi me te whakaiti i te hau PFCS-katoa-ammonium, penei i te whakamahi i te hau PFC me te iti o te paanga kati hei whakakapi i te hau me te hua kati teitei, penei i te whakapai ake i te rere o te tukanga me te whakaiti i te nui o te hau PFCS e whakamahia ana i roto i te tukanga;
· Te whakapai ake i te horoi o te maha-wafer ki te horoi kotahi-wafer ki te whakaiti i te nui o nga matū horoi horoi e whakamahia ana i roto i te tukanga horoi.
· Te mana whakahaere:
a. Te mohio aunoatanga o te mahi whakangao, ka taea te mohio ki te tukatuka tika me te hanga puranga, me te whakaiti i te reeti hapa nui o te mahi a-ringa;
b. Ko nga ahuatanga o te taiao e tino maamaa ana, e 5% iti iho ranei o te ngaronga hua na te tangata me te taiao. Ko nga mea taiao o te tukanga Ultra-ma ko te maa o te hau, te wai parakore teitei, te hau kapi, CO2, N2, te pāmahana, te makuku, me etahi atu. hau, ara, te kukū tatau matūriki;
c. Whakakaha te rapunga, me te kowhiri i nga tohu matua e tika ana mo te kimi i nga teihana mahi me te nui o te para i te wa o te mahi whakaputa.
Nau mai ki nga kaihoko mai i nga wa katoa o te ao ki te toro mai ki a maatau mo etahi atu korero!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Te wa tuku: Akuhata-13-2024