Ko te Kohu Kohu Maama (CVD) he hangarau whakangao kiriata angiangi nui, e whakamahia ana ki te whakareri i nga momo kiriata mahi me nga rawa paparanga angiangi, ka whakamahia nuitia i roto i nga mahi whakangao semiconductor me etahi atu mara.
1. Tikanga mahi o te CVD
I roto i te tukanga CVD, ka kawea te hau (kotahi, neke atu ranei o nga pūhui kawa) ki te mata o te tïpako, ka whakamahana ki tetahi pāmahana kia puta he tauhohenga matū me te whakatakoto ki runga i te mata tïpako hei hanga i te kiriata e hiahiatia ana, te paninga ranei. paparanga. Ko te hua o tenei tauhohenga matū he totoka, i te nuinga o te waa he puhui o nga rawa e hiahiatia ana. Mena kei te pirangi tatou ki te whakapiri silicon ki te mata, ka taea e tatou te whakamahi i te trichlorosilane (SiHCl3) hei hau kaamata: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Ka herea te Silicon ki tetahi mata e kitea ana (roto me waho), ko te hauhau maota me te waikawa waikawa ka herea. kia tukuna mai i te ruma.
2. Te whakarōpūtanga CVD
CVD Weariki: Ma te whakamahana i te hau kaamata ki te pirau me te whakatakoto ki te mata tïpako. Plasma Enhanced CVD (PECVD): Ka taapirihia te Plasma ki te CVD waiariki hei whakarei ake i te tere o te tauhohenga me te whakahaere i te tukanga whakaheke. Metal Organic CVD (MOCVD): Ma te whakamahi i nga pūhui pararopi whakarewa hei hau o mua, ka taea te whakarite i nga kiriata angiangi o nga konganuku me nga semiconductors, ka whakamahia i te nuinga o te waa ki te hanga taputapu penei i te LED.
3. Taupānga
(1) Hangahanga Semiconductor
Kiriata silicide: whakamahia ki te whakarite i nga paparanga whakamarumaru, nga taputapu, nga papaa wehe, me etahi atu. Nitride kiriata: whakamahia ki te whakarite i te nitride silicon, te nitride konumohe, me etahi atu, whakamahia i roto i nga LED, nga taputapu hiko, me etahi atu. paparanga, etc.
(2) Hangarau whakaatu
Kiriata ITO: Ko te kiriata waikura kawe marama, ka whakamahia i roto i nga whakaaturanga papatahi me nga mata pa. Kiriata parahi: whakamahia ki te whakarite i nga paparanga takai, raina conductive, me etahi atu, hei whakapai ake i te mahi o nga taputapu whakaatu.
(3) Ētahi atu mara
Ko nga whakakikorua mata: tae atu ki nga paninga anti-whakaata, nga whiriwhiringa mata, me era atu.
4. Nga ahuatanga o te tukanga CVD
Whakamahia te taiao pāmahana teitei hei whakatairanga i te tere tauhohenga. I te nuinga o te wa ka mahia i roto i te taiao korehau. Ko nga mea poke i te mata o te waahanga me tango i mua i te peita. He herenga pea te tukanga i runga i nga taputapu ka taea te whakakikorua, ara, te herenga o te pāmahana, te herenga tauhohenga ranei. Ka kapi te paninga CVD i nga waahi katoa o te waahanga, tae atu ki nga miro, nga rua matapo me nga papa o roto. Ka whakawhäitihia te kaha ki te huna i nga waahi motuhake. Ko te matotoru o te kiriata ka whakawhäitihia e te tukanga me nga tikanga rauemi. He pai ake te piri.
5. Nga painga o te hangarau CVD
Whakaritenga: Ka taea ki te whakatutuki i nga tuunga rite ki runga i nga taputapu waahi nui.
Te Mana Whakahaere: Ka taea te whakatika i te reiti waipara me nga ahuatanga kiriata ma te whakahaere i te rerenga rere me te pāmahana o te hau o mua.
Te Maamaa: E tika ana mo te whakatakoto i nga momo momo rawa, penei i te konganuku, te semiconductors, te waikura, aha atu.
Te wa tuku: Mei-06-2024