Ko nga mahi matua opoti carbide siliconhe rite tonu te tautoko me te tautoko poti kiripaka.Poti carbide SiliconHe pai te mahi o te tautoko engari he utu nui. He hononga rereke me te tautoko poti kiripaka i roto i nga taputapu tukatuka pākahiko me nga tikanga mahi kino (penei i nga taputapu LPCVD me nga taputapu tohatoha boron). I roto i nga taputapu tukatuka pākahiko me nga tikanga mahi noa, na te whanaungatanga utu, ka noho tahi me nga waahanga whakataetae te karbida silicon me te tautoko poti kiripaka.
① Te hononga whakakapinga i roto i te LPCVD me nga taputapu diffusion boron
Ko nga taputapu LPCVD e whakamahia ana mo te whakamaaramatanga o te hiko o te pūtau pākahiko me te mahi whakarite paparanga polysilicon doped. Tikanga mahi:
I raro i te hau iti-pēhanga, ka honoa ki te pāmahana e tika ana, te tauhohenga matū me te hanga kiriata waipara ka tutuki hei whakarite i te paparanga waikura tunneling ultra-aniangi me te kiriata polysilicon. I roto i te whakamaaramatanga o te kohanga me te whakamaarama i te paparanga polysilicon doped, he nui te pāmahana mahi o te tautoko poti, ka waiho he kiriata silicon ki runga i te mata. He rereke te whakarea roha waiariki o te kiripaka i tera o te hiraka. I te wa e whakamahia ana i roto i nga tikanga o runga ake nei, he mea tika ki te tiki i nga wa katoa me te tango i te silicon kua whakatakotoria ki runga i te mata kia kore ai e pakaru te tautoko poti kiripaka na te roha wera me te whakahekenga na te rerekee o te whakareatanga whakareatanga waiariki mai i te silicon. Na te kaha o te pikinga me te iti o te kaha o te wera, he poto te ora o te kaipupuri poti kiripaka, he maha nga wa ka whakakapihia i roto i te whakamaaramatanga o te kauhanga me te mahi whakarite paparanga polysilicon doped, e tino whakanui ana i te utu whakaputa o te pūtau pākahiko. Ko te whakarea roha ocarbide siliconhe tata ki tera o te silicon. Ko te whakaurupoti carbide siliconkarekau e hiahia te kaimau ki te tiki i roto i te whakamaaramatanga o te kauhanga me te mahi whakarite paparanga polysilicon doped. He kaha teitei-te wera me te roa o te ratonga. He pai ke atu ki te kaipupuri poti kiripaka.
Ko nga taputapu roha Boron te nuinga e whakamahia ana mo te mahi doping huānga boron i runga i te N-momo silicon wafer tïpako o te pūtau pākahiko ki te whakarite i te momo P-emitter ki te hanga i te hononga PN. Ko te kaupapa mahi ko te mohio ki te tauhohenga matū me te hanga kiriata waipara rāpoi i roto i te hau wera nui. I muri i te hanga o te kiriata, ka taea te whakamaarama ma te whakamahana wera nui kia mohio ai te mahi doping o te mata angiangi silicon. Na te kaha o te mahi o nga taputapu roha boron, he iti te kaha o te pawera o te kaimau poti kiripaka me te poto o te mahi i roto i nga taputapu roha boron. Ko te whakaurupoti carbide siliconHe kaha teitei te wera o te kaimau, he pai ke atu ki te kaimau poti kiripaka i roto i te tukanga roha boron.
② Whakakapi hononga ki etahi atu taputapu tukatuka
Ko nga tautoko poti SiC he kaha ki te whakaputa me te pai o te mahi. He nui ake o raatau utu i te utu o nga tautoko poti kiripaka. I roto i nga tikanga mahi o nga taputapu tukatuka pūtau, he iti te rereketanga o te oranga ratonga i waenga i nga tautoko poti SiC me nga tautoko poti kiripaka. Ko nga kaihoko o raro te nuinga o te whakataurite me te whiriwhiri i waenga i te utu me te mahinga i runga i o raatau ake tukanga me o raatau hiahia. Ko nga tautoko poti SiC me nga tautoko poti kiripaka kua noho tahi me te whakataetae. Heoi, he tino nui te tawhē moni o nga tautoko poti SiC i naianei. Na te hekenga o te utu whakangao o nga tautoko poti SiC, mena kei te kaha heke te utu hoko o te poti SiC, ka kaha ake te whakataetae ki nga tautoko poti kiripaka.
Whakamahi ōwehenga
Ko te huarahi hangarau pūtau ko te hangarau PERC me te hangarau TOPCon. Ko te wahanga maakete o te hangarau PERC ko te 88%, ko te maakete o te hangarau TOPCon he 8.3%. Ko te wahanga o te maakete o enei e rua ko te 96.30%.
E whakaatu ana i te ahua i raro nei:
I roto i te hangarau PERC, ka hiahiatia nga tautoko poti mo te whakamaarama o te ūkuikui o mua me nga mahi annealing. I roto i te hangarau TOPCon, e hiahiatia ana nga tautoko poti mo te whakamaoritanga boron o mua, LPCVD, te whakamaarama o te ūkuikui whakamuri me nga tukanga annealing. I tenei wa, ko nga tautoko poti carbide silicon te nuinga e whakamahia ana i roto i te tukanga LPCVD o te hangarau TOPCon, a ko to raatau tono i roto i te tukanga diffusion boron kua tino manatokohia.
Whakaahua Te tono mo nga tautoko poti i roto i te tukanga tukatuka pūtau
Tuhipoka: I muri i te paninga o mua me muri o nga hangarau PERC me TOPCon, kei reira tonu nga hononga penei i te panui mata, te sintering me te whakamatautau me te tohatoha, kaore e uru ki te whakamahi i nga tautoko poti, kaore i te rarangi i runga ake nei.
Te wa tuku: Oketopa-15-2024