Ko te Silicon carbide (SiC) he rauemi semiconductor pūhui hou. He nui te mokowhiti a Silicon carbide (e 3 nga wa o te silicon), te kaha o te mara tino nui (e 10 nga wa o te silicon), te kaha o te waiariki (tata ki te 3 nga wa silicon). He mea nui mo te reanga-whakatupuranga semiconductor. Ko nga paninga SiC e whakamahia nuitia ana i roto i te ahumahi semiconductor me te photovoltaics solar. Ina koa, ko nga kaipatu i whakamahia i roto i te tipu epitaxial o nga LED me te Si epitaxy karaihe kotahi e hiahia ana ki te whakamahi i te paninga SiC. Na te kaha o te piki haere o nga LED i roto i te rama me te ahumahi whakaatu, me te kaha o te whakawhanaketanga o te ahumahi semiconductor,Hua paninga SiChe tino pai nga tumanakohanga.
WHARE TONO
Pure, Hanganga SEM, tātaritanga matotoru opaninga SiC
Ko te ma o nga paninga SiC i runga i te graphite ma te whakamahi i te CVD he teitei ki te 99.9995%. Ko tona hanganga he fcc. Ko nga kiriata SiC kua whakakikoruatia ki te kauwhata he (111) e whakaatu ana i te raraunga XRD (Fig.1) e tohu ana i tona kounga teitei. He tino rite te matotoru o te kiriata SiC e whakaatuhia ana i te Whakaahua 2.
Whakaatu 2: te kakahu matotoru o nga kiriata SiC SEM me XRD o te kiriata beta-SiC i runga i te kauwhata
Ko nga raraunga SEM o te kiriata angiangi CVD SiC, ko te rahi o te karaihe ko 2 ~ 1 Opm
Ko te hanganga karaihe o te kiriata CVD SiC he hangahanga-a-kanohi-a-kanohi, a ko te ahua o te tipu o te kiriata e tata ana ki te 100%
Ko te Silicon carbide (SiC) kua paniako te turanga te turanga pai mo te kirika karaihe kotahi me te GaN epitaxy, koinei te waahanga matua o te oumu epitaxy. Ko te turanga he taputapu whakangao matua mo te silicon monocrystalline mo nga iahiko whakauru nui. He nui te ma, te teitei o te pāmahana, te aukati waikura, te pai o te hau me etahi atu mea tino pai.
Te tono hua me te whakamahi
Ko te paninga turanga kauwhata mo te tipu epitaxial silicon kotahi e tika ana mo nga miihini Aixtron, me etahi atu Te matotoru o te whakakikorua: 90~150umKo te diameter o te papa angiangi he 55mm.
Te wa tuku: Maehe-14-2022