2022 kounga teitei MOCVD Susceptor Hokona ipurangi i Haina, Sic Graphite epitaxy susceptor,
Nga taputapu tautoko graphite, Nga Kaipupuri Kauwhata, Nga Kaipupuri Kauwhata mo te SiC Epitaxy, Ko nga Kaihanga Kawhata mo Silicon, Ko nga kaitapa karepe me te paninga carbide silicon, NGA Utauta GRAPHITE I ROTO I TE HAWAIRANGI Nga Paepae Graphite Wafer Susceptors Nga Utauta GRAPHITE TE PARAU MAU Opto-electronics, tüäpapa amiorangi mo te MOCVD, SiC whakakikoruatia graphite amiorangi tüäpapa mo MOCVD,
Ko nga painga motuhake o a maatau kaitao graphite pania SiC ko te tino ma, te paninga riterite me te oranga ratonga pai. He nui hoki o ratou atete matū me nga ahuatanga pumau.
Ko te paninga SiC o te taputapu Graphite mo nga tono Semiconductor e whakaputa ana i tetahi waahanga me te tino ma me te aukati ki te hau whakahaora.
Ko te CVD SiC, ko te CVI SiC ranei ka tukuna ki te Graphite o nga waahanga hoahoa ngawari, uaua ranei. Ka taea te paninga ki nga momo matotoru me nga waahanga nui rawa atu.
Āhuatanga:
· He Pai Te Atete Ngaa Ngawha
· Tino Pai Atete Huri-a-tinana
· Tino Pai Atete Matū
· Tino Maamaa Nui
· Te waatea i roto i te Hanga Matatini
· Ka taea te whakamahi i raro i te Oxidizing Atmosphere
Āhuatanga angamaheni o te Rawa Kawhata Turanga:
Kiato Putanga: | 1.85 g/cm3 |
Ātete Hiko: | 11 μΩm |
Te Kaha Toka: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
Maamaa Takutai: | 58 |
pungarehu: | <5ppm |
Kawenga Ngawha: | 116 W/mK (100 kcal/mhr- ℃) |
Ka tukuna e te waro nga whakaraerae me nga waahanga kauwhata mo nga reactors epitaxy o naianei. Kei roto i ta maatau kopaki nga kaitao paera mo nga waeine tono me te LPE, nga kaitutei panekeke mo nga waeine LPE, CSD, me Gemini, me nga kaiawhina wafer kotahi mo nga waahanga tono me te ASM. tuku te hoahoa tino pai mo to tono.