VET Energy silicon carbide (SiC) epitaxial wafer dia fitaovana semiconductor bandgap avo lenta avo lenta miaraka amin'ny fanoherana ny mari-pana ambony, ny matetika ary ny toetran'ny hery avo. Izy io dia substrate tsara indrindra ho an'ny taranaka vaovao fitaovana elektronika matanjaka. Ny VET Energy dia mampiasa ny teknolojia epitaxial MOCVD mandroso mba hampitomboana ny sosona epitaxial SiC avo lenta amin'ny substrate SiC, hiantohana ny fampandehanana tsara sy ny tsy fitoviana amin'ny wafer.
Ny Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer dia manolotra fifanarahana tsara amin'ny fitaovana semiconductor isan-karazany ao anatin'izany ny Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, ary SiN Substrate. Miaraka amin'ny sosona epitaxial matanjaka, dia manohana ireo dingana mandroso toa ny fitomboan'ny Epi Wafer sy ny fampidirana amin'ny fitaovana toa ny Gallium Oxide Ga2O3 sy AlN Wafer, miantoka ny fampiasana betsaka amin'ny teknolojia samihafa. Namboarina mba hifanaraka amin'ny rafitra fitantanana kasety manara-penitra indostrialy, miantoka ny fampandehanana mahomby sy mirindra amin'ny tontolo fanamboarana semiconductor.
Ny tsipika vokatra VET Energy dia tsy voafetra amin'ny SiC epitaxial wafers. Manome fitaovana substrate semiconductor isan-karazany ihany koa izahay, anisan'izany ny Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, sns. Ankoatra izany, dia mazoto mamolavola fitaovana semiconductor midadasika vaovao, toy ny Gallium Oxide Ga2O3 sy AlN. Wafer, mba hamenoana ny fangatahan'ny indostrian'ny elektronika herinaratra ho avy amin'ny fitaovana avo lenta kokoa.
WAFERING SPECIFICATIONS
*n-Pm=n-karazana Pm-Grade,n-Ps=n-karazana Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
zavatra | 8-mirefy | 6-mirefy | 4-mirefy | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Sanda tanteraka | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
FINITANA EO
*n-Pm=n-karazana Pm-Grade,n-Ps=n-karazana Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
zavatra | 8-mirefy | 6-mirefy | 4-mirefy | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Surface vita | Polisy Optical lafiny roa, Si- Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Edge Chips | Tsy mahazo alalana (lavany sy sakany≥0.5mm) | ||||
Indents | Tsy misy navela | ||||
Karazana (Si-Face) | Qty.≤5, Mitambatra | Qty.≤5, Mitambatra | Qty.≤5, Mitambatra | ||
triatra | Tsy misy navela | ||||
Edge Exclusion | 3mm |