SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Famaritana fohy:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth dia vokatra avo lenta natao hanomezana fampisehoana tsy miovaova sy azo itokisana mandritra ny fotoana maharitra. Izy io dia manana fanoherana hafanana tsara sy hafanana mafana, fahadiovana avo, fanoherana ny erosion, ka mahatonga azy io ho vahaolana tonga lafatra ho an'ny fampiharana fanodinana wafer.

Alefaso mailaka aminay Alefaso amin'ny PDF

Product Detail

Tags vokatra

SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers/susceptor

Ny susceptors rehetra dia vita amin'ny graphite isostatic mahery vaika. Mahazoa tombony amin'ny fahadiovana ambony amin'ny grafitantsika - novolavolaina indrindra ho an'ny dingana sarotra toy ny epitaxy, ny fitomboan'ny kristaly, ny fametrahana ion ary ny etching plasma, ary koa ny famokarana chips LED.

Endriky ny vokatray:

1. Avo fanoherana oxidation ny mari-pana hatramin'ny 1700 ℃.
2. Ny fahadiovana ambony sy ny fitovian'ny hafanana
3. Tena fanoherana harafesina: asidra, alkali, sira ary reagents organika.
4. Ny hamafin'ny avo, matevina ambonin'ny, poti tsara.
5. fiainana lava kokoa sy maharitra kokoa

CVD SiC薄膜基本物理性能 Toetra ara-batana fototra amin'ny CVD SiCcoating
性质 / Fananana	典型数值 / Sanda mahazatra
晶体结构 / Rafitra kristaly	FCC β phase多晶，主要为（111）取向
密度 / Hateza	3,21 g/cm³
硬度 / Hafàna	2500 维氏硬度（500g entana）
晶粒大小 / Ny voamaina	2~10μm
纯度 / Fahadiovana simika	99.99995%
热容 / Hafanana	640 kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperature Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Hery flexural	415 MPa RT 4 teboka
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt fiondrika, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Fanitarana Thermal (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ny VET Energy no tena mpanamboatra ny vokatra vita amin'ny grafit sy silisiôma carbide miaraka amin'ny loko isan-karazany toa ny SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, sns.

Ny ekipa teknika dia avy amin'ireo andrim-pikarohana ambony ao an-toerana, afaka manome vahaolana ara-pitaovana matihanina kokoa ho anao.

Tsy mitsahatra mamolavola dingana mandroso izahay mba hanomezana fitaovana mandroso kokoa, ary nanamboatra teknolojia vita amin'ny patanty manokana, izay mety hahatonga ny fatorana eo amin'ny coating sy ny substrate ho henjana kokoa ary tsy dia mora simba.

Faly miarahaba anao hitsidika ny orinasa, andao hiresaka bebe kokoa!