PECVD iekraušanas paplātes nogulsnēšanās grafīta paplāte

PECVD Loading Tray Deposition Grafīta paplātes Piedāvātais attēls

Īss apraksts:

VET Energy PECVD iekraušanas paplāte ir izstrādāta, lai nodrošinātu drošu un vienmērīgu atbalstu plāksnēm nogulsnēšanas laikā, uzlabojot uzklāšanas procesa konsistenci un kvalitāti. Pateicoties lieliskajai karstumizturībai, grafīta paplāte palīdz uzturēt kontrolētu vidi PECVD kamerās, samazinot piesārņojuma risku un nodrošinot augstu procesa efektivitāti.

Nosūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produktu etiķetes

VET Energy PECVD iekraušanas paplāte ir precīzijas nesējs, kas paredzēts PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanās) procesam. Šī augstas kvalitātes nogulsnēšanas grafīta paplāte ir izgatavota no augstas tīrības un augsta blīvuma grafīta materiāla. Tam ir lieliska augstas temperatūras izturība, izturība pret koroziju, izmēru stabilitāte un citas īpašības. Tas var nodrošināt stabilu nesēja platformu PECVD procesam un nodrošināt plēves nogulsnēšanas viendabīgumu un līdzenumu.

VET Energy PECVD iekraušanas paplātes tiek plaši izmantotas pusvadītāju, fotoelementu, LED un citās jomās. Piemēram:

▪ Pusvadītājs: PECVD process pusvadītāju materiāliem, piemēram, silīcija plāksnēm un epitaksiālajām plāksnēm.

▪ Fotoelements: PECVD process saules bateriju plānām kārtiņām.

▪ LED: PECVD process LED mikroshēmām.

Produkta priekšrocības

▪Uzlabojiet filmas kvalitāti:Nodrošiniet vienmērīgu plēves nogulsnēšanos un uzlabojiet plēves kvalitāti.

▪Pagariniet aprīkojuma kalpošanas laiku:Lieliska izturība pret koroziju, pagarina PECVD iekārtu kalpošanas laiku.

▪Samaziniet ražošanas izmaksas:Augstas kvalitātes grafīta paplātes var samazināt lūžņu daudzumu un samazināt ražošanas izmaksas.

Grafīta materiāls no SGL:

Tipisks parametrs: R6510
Rādītājs	Pārbaudes standarts	Vērtība	Vienība
Vidējais graudu izmērs	ISO 13320	10	μm
Tilpuma blīvums	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atvērta porainība	DIN66133	10	%
Vidējs poru izmērs	DIN66133	1.8	μm
Caurlaidība	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvela cietība HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Īpatnējā elektriskā pretestība	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Liekšanas spēks	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Spiedes spēks	DIN 51910	130	MPa
Younga modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termiskā izplešanās (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Siltumvadītspēja (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēts nesēja dizains ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražas līmeni un zemākas ražošanas izmaksas.

Vienums	Tips	Numuru plāksnīšu nesējs
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija	156-13 grefīta laiva	144
	156-19 grefīta laiva	216
	156-21 grefīta laiva	240
	156-23 grafīta laiva	308
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija	125-15 grefīta laiva	196
	125-19 grefīta laiva	252
	125-21 grfīta laiva	280