Grafīta substrāta vafeļu turētājs PECVD

Īss apraksts:

Uzņēmuma VET Energy grafīta substrāta turētājs ir izstrādāts, lai saglabātu vafeļu izlīdzināšanu un stabilitāti visā PECVD procesā, novēršot piesārņojumu un samazinot bojājumu risku. Grafīta vafeļu turētājs nodrošina drošu, vienmērīgu platformu, nodrošinot, ka vafeles vienmērīgi tiek pakļautas plazmai, lai nodrošinātu konsekventu un kvalitatīvu nogulsnēšanos. Ar savu augsto siltumvadītspēju un izcilo izturību šis turētājs palīdz uzlabot kopējo procesa efektivitāti un produkta veiktspēju.

Nosūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produktu etiķetes

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder ir precīzs nesējs, kas paredzēts PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) procesam. Šis augstas kvalitātes grafīta substrāta turētājs ir izgatavots no augstas tīrības, augsta blīvuma grafīta materiāla ar izcilu augstas temperatūras izturību, izturību pret koroziju, izmēru stabilitāti un citām īpašībām. Tas var nodrošināt stabilu atbalsta platformu PECVD procesam un nodrošināt plēves nogulsnēšanas viendabīgumu un līdzenumu.

VET Energy PECVD procesa grafīta vafeļu atbalsta galdam ir šādas īpašības:

▪Augsta tīrība:ārkārtīgi zems piemaisījumu saturs, izvairīties no plēves piesārņojuma, nodrošināt plēves kvalitāti.

▪Augsts blīvums:augsts blīvums, augsta mehāniskā izturība, var izturēt augstu temperatūru un augsta spiediena PECVD vidi.

▪Laba izmēru stabilitāte:nelielas izmēru izmaiņas augstā temperatūrā, nodrošinot procesa stabilitāti.

▪Lieliska siltumvadītspēja:efektīvi pārnes siltumu, lai novērstu vafeļu pārkaršanu.

▪Spēcīga izturība pret koroziju:var izturēt dažādu korozīvu gāzu un plazmas eroziju.

▪Pielāgots pakalpojums:dažādu izmēru un formu grafīta atbalsta galdi var tikt pielāgoti atbilstoši klientu vajadzībām.

Produkta priekšrocības

▪Uzlabojiet filmas kvalitāti:Nodrošiniet vienmērīgu plēves nogulsnēšanos un uzlabojiet plēves kvalitāti.

▪Pagariniet aprīkojuma kalpošanas laiku:Lieliska izturība pret koroziju, pagarina PECVD iekārtu kalpošanas laiku.

▪Samaziniet ražošanas izmaksas:Augstas kvalitātes grafīta paplātes var samazināt lūžņu daudzumu un samazināt ražošanas izmaksas.

Grafīta materiāls no SGL:

Tipisks parametrs: R6510
Rādītājs	Pārbaudes standarts	Vērtība	Vienība
Vidējais graudu izmērs	ISO 13320	10	μm
Tilpuma blīvums	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atvērta porainība	DIN66133	10	%
Vidējs poru izmērs	DIN66133	1.8	μm
Caurlaidība	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvela cietība HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Īpatnējā elektriskā pretestība	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Liekšanas spēks	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Spiedes spēks	DIN 51910	130	MPa
Younga modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termiskā izplešanās (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Siltumvadītspēja (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēts nesēja dizains ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražas līmeni un zemākas ražošanas izmaksas.

Vienums	Tips	Numuru plāksnīšu nesējs
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija	156-13 grefīta laiva	144
	156-19 grefīta laiva	216
	156-21 grefīta laiva	240
	156-23 grafīta laiva	308
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija	125-15 grefīta laiva	196
	125-19 grefīta laiva	252
	125-21 grfīta laiva	280