PECVD grafīta vafeļu atbalsts

PECVD grafīta vafeļu atbalsta piedāvātais attēls

Īss apraksts:

Izstrādāts precizitātei un veiktspējai, VET Energy Graphite Wafer Support ir ideāls materiāls izmantošanai progresīvā vafeļu apstrādē, kur svarīga ir augsta termiskā stabilitāte un nemainīga veiktspēja. Neatkarīgi no tā, vai strādājat ar pusvadītāju plāksnēm vai citiem smalkiem substrātiem, šis augstas kvalitātes grafīta balsts uzlabos jūsu procesa uzticamību un produktu kvalitāti, padarot to par neaizstājamu mūsdienu ražošanas sastāvdaļu.

Nosūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produktu etiķetes

VET Energy PECVD procesa grafīta vafeļu atbalsts ir galvenais palīgmateriāls, kas paredzēts PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanās) procesam. Šis produkts ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes, augsta blīvuma grafīta materiāla ar izcilu augstas temperatūras izturību, izturību pret koroziju, izmēru stabilitāti un citām īpašībām, var nodrošināt stabilu atbalsta platformu PECVD procesam, lai nodrošinātu plēves nogulsnēšanās viendabīgumu un līdzenumu.

VET Energy grafīta vafeļu atbalsta "grafīta atbalsta" dizains var ne tikai efektīvi atbalstīt vafeles, bet arī nodrošināt termisko stabilitāti augstas temperatūras un augsta spiediena PECVD vidē, lai nodrošinātu procesa stabilitāti.

VET Energy PECVD procesa grafīta plāksnīšu atbalstam ir šādas īpašības:

▪Augsta tīrība:ārkārtīgi zems piemaisījumu saturs, izvairieties no plēves piesārņojuma, lai nodrošinātu plēves kvalitāti.

▪Augsts blīvums:augsts blīvums, augsta mehāniskā izturība, var izturēt augstu temperatūru un augsta spiediena PECVD vidi.

▪Laba izmēru stabilitāte:nelielas izmēru izmaiņas augstā temperatūrā, lai nodrošinātu procesa stabilitāti.

▪Lieliska siltumvadītspēja:efektīvi pārnes siltumu, lai novērstu vafeļu pārkaršanu.

▪Spēcīga izturība pret koroziju:Spēj izturēt dažādu korozīvu gāzu un plazmas eroziju.

▪Pielāgots pakalpojums:Dažādu izmēru un formu grafīta atbalsta galdi var tikt pielāgoti atbilstoši klientu vajadzībām.

Grafīta materiāls no SGL:

Tipisks parametrs: R6510
Rādītājs	Pārbaudes standarts	Vērtība	Vienība
Vidējais graudu izmērs	ISO 13320	10	μm
Tilpuma blīvums	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atvērta porainība	DIN66133	10	%
Vidējs poru izmērs	DIN66133	1.8	μm
Caurlaidība	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvela cietība HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Īpatnējā elektriskā pretestība	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Liekšanas spēks	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Spiedes spēks	DIN 51910	130	MPa
Younga modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termiskā izplešanās (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Siltumvadītspēja (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēts nesēja dizains ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražas līmeni un zemākas ražošanas izmaksas.

Vienums	Tips	Numuru plāksnīšu nesējs
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija	156-13 grefīta laiva	144
	156-19 grefīta laiva	216
	156-21 grefīta laiva	240
	156-23 grafīta laiva	308
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija	125-15 grefīta laiva	196
	125-19 grefīta laiva	252
	125-21 grfīta laiva	280