TaC padengtas susceptorius, skirtas epitaksijos įrangai

Trumpas aprašymas:

VET teikia specializuotas tantalo karbido (TaC) dangas įvairiems komponentams ir nešikliams. VET pirmaujantis dengimo procesas leidžia tantalo karbido (TaC) dangoms pasiekti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir aukštą cheminę toleranciją, gerinant SIC/GAN kristalų ir EPI sluoksnių produktų kokybę ir prailginant pagrindinių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką. Tantalo karbido TaC dangos naudojimas yra skirtas išspręsti krašto problemą ir pagerinti kristalų augimo kokybę, o VET proveržis išsprendė tantalo karbido dengimo technologiją (CVD), pasiekdamas tarptautinį pažangų lygį.


Produkto detalė

Produkto etiketės

Padengtas TaCsubstratas yra plona plėvelė, pagaminta ištantalo karbidasmedžiaga, kuri dedama ant epitaksinės įrangos pagrindo paviršiaus.TaC dangaturi daug puikių savybių, todėl tai idealus pasirinkimas.

TaC danga yra tam tikros rūšies tantalo karbido (TaC) danga, paruošta fizinio nusodinimo garais technologija, ji turi šias charakteristikas:

1. Didelis kietumas: TaC dangos kietumas yra didelis, paprastai gali siekti 2500-3000HV, yra puiki kieta danga.

2. Atsparumas dilimui: TaC danga yra labai atspari dilimui, kuri gali efektyviai sumažinti mechaninių dalių susidėvėjimą ir pažeidimus naudojimo metu.

3. Geras atsparumas aukštai temperatūrai: TaC danga taip pat gali išlaikyti puikias savybes esant aukštai temperatūrai.

4. Geras cheminis stabilumas: TaC danga turi gerą cheminį stabilumą ir gali atsispirti daugeliui cheminių reakcijų, tokių kaip rūgštys ir bazės.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Fizinės savybės TaC danga

密度/ Tankis

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Savitoji spinduliuotė

0.3

热膨胀系数 / Šiluminio plėtimosi koeficientas

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Kietumas (HK)

2000 HK

电阻 / Pasipriešinimas

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Terminis stabilumas

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Keičiasi grafito dydis

-10-20um

涂层厚度 / Dangos storis

≥20um tipinė vertė (35um±10um)

 

„Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd“ yra aukštųjų technologijų įmonė, kurios pagrindinis dėmesys skiriamas aukščiausios klasės pažangių medžiagų, medžiagų ir technologijų, apimančių grafitą, silicio karbidą, keramiką, paviršiaus apdorojimą ir pan., gamyba ir pardavimas. Produktai yra plačiai naudojami fotovoltinės, puslaidininkių, naujos energijos, metalurgijos ir kt.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių vietinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnius medžiagų sprendimus.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Ankstesnis:
  • Kitas:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!