Produkto savybės
· Puikiai aukštos temperatūros pasirodymas
PyC danga pasižymi tankios struktūros savybėmis, puikiu atsparumu karščiui, geru šilumos laidumu ir atsparumu dilimui. Kadangi abu yra anglies elementai, jis stipriai sukimba su grafitu ir gali užsandarinti likusias lakiąsias medžiagas grafito viduje, kad būtų išvengta užteršimo anglies dalelėmis.
· Valdomas grynumas
PyC dangos grynumas gali siekti 5 ppm, atitinkantis didelio grynumo sluoksnių grynumo reikalavimus.
· Prailgintas paslauga gyvenimą ir pagerėjo produktas quality
PyC danga gali efektyviai prailginti grafito komponentų tarnavimo laiką ir pagerinti gaminio kokybę, taip efektyviai sumažindama klientų gamybos sąnaudas.
·Platus diapazonas of programas
PyC danga daugiausia naudojama aukštos temperatūros laukuose, tokiuose kaip Si/SiC puslaidininkių kristalų auginimas, jonų implantavimas, puslaidininkių metalo lydymas ir instrumentų analizė.
Produktas Specifikacijos
Tipiškas pasirodymas | Vienetas | Specifikacija |
Kristalinė struktūra | Šešiakampis | |
Lygiavimas | Orientuotas arba neorientuotas 0001 kryptimi | |
Tūrinis tankis | g/cm³ | -2.24 |
Mikrostruktūra | Polikristalinis/daugiasluoksnis grafenas | |
Kietumas | GPa | 1.1 |
Elastinis modulis | GPa | 10 |
Tipiškas storis | μm | 30-100 |
Paviršiaus šiurkštumas | μm | 1.5 |
Produkto grynumas | ppm | ≤5 ppm |