SiC Coating/Coated Graphite Substrate/Tray for Semiconductor

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor ສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial ແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ.ມັນມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ wafer.


ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

SiC coating/coated ຂອງ Graphite susceptor ສໍາລັບ Semiconductor
 
SiC Coated Graphite Susceptor ເປັນອົງປະກອບຫຼັກທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີຕ່າງໆ.ພວກເຮົານໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຮັດໃຫ້ຜູ້ຂົນສົ່ງ silicon carbide ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການເຄືອບທີ່ດີແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຄຸນສົມບັດທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນ.

 ຄຸນ​ລັກ​ສະ​ນະ: 
· ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນດີເລີດ
· ຕ້ານການຊ໊ອກທາງກາຍທີ່ດີເລີດ
· ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດ
· ຄວາມບໍລິສຸດສູງ
· ມີຢູ່ໃນຮູບຮ່າງທີ່ຊັບຊ້ອນ
·ໃຊ້ໄດ້ພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດ Oxidizing

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:

3

ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປຂອງວັດສະດຸ Graphite ພື້ນຖານ:

ຄວາມຫນາແຫນ້ນປາກົດຂື້ນ: 1.85 g/cm3
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ: 11 μΩm
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural: 49 MPa (500kgf/cm2)
ຄວາມແຂງຂອງຝັ່ງ: 58
ຂີ້ເທົ່າ: <5ppm
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ

性质 / ຊັບສິນ

典型数值 / ຄ່າປົກກະຕິ

晶体结构 / ໂຄງ​ສ້າງ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​

FCC ໄລຍະβ 多晶,主要为 (111) 取向

密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ

3.21 g/cm³

硬度 / ຄວາມແຂງ

2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g)

晶粒大小 / Grain SiZe

2-10 ມມ

纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ

99.99995%

ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ

640 J·kg-1· ຄ-1

升华温度 / ອຸນຫະພູມ Sublimation

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4 ຈຸດ

杨氏模量 / ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ

430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃

导热系数 / ການນໍາຄວາມຮ້ອນ

300W·m-1· ຄ-1

热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

ພະລັງງານ VET ແມ່ນຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງດ້ວຍການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບກາກບອນແກ້ວ, ການເຄືອບກາກບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດສະຫນອງພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງຕ່າງໆສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະ photovoltaic.

ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.

ພວກເຮົາພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ, ແລະໄດ້ເຮັດວຽກອອກເຕັກໂນໂລຢີສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate ເຄັ່ງຄັດຂື້ນແລະມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະ detachment.

ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຢ່າງອົບອຸ່ນ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ທີ່ຜ່ານມາ:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • WhatsApp ສົນທະນາອອນໄລນ໌!