ຄຸນສົມບັດ:
· ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນດີເລີດ
· ຕ້ານການຊ໊ອກທາງກາຍທີ່ດີເລີດ
· ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ດີເລີດ
· ຄວາມບໍລິສຸດສູງ
· ມີຢູ່ໃນຮູບຮ່າງທີ່ຊັບຊ້ອນ
·ສາມາດໃຊ້ໄດ້ພາຍໃຕ້ບັນຍາກາດ Oxidizing
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:
ຄຸນນະສົມບັດຜະລິດຕະພັນແລະຂໍ້ດີ:
1. ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນສູງ:ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງການເຄືອບ SiC, substrate ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍໄປ, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຕ້ອງການເຊັ່ນ: epitaxy ແລະ fabrication semiconductor.
2. ປັບປຸງຄວາມທົນທານ:ອົງປະກອບ graphite ເຄືອບ SiC ຖືກອອກແບບມາເພື່ອຕ້ານການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີແລະການຜຸພັງ, ເພີ່ມອາຍຸການຂອງ substrate ເມື່ອທຽບກັບ substrates graphite ມາດຕະຖານ.
3. Vitreous Coated Graphite:ໂຄງປະກອບການຂອງ vitreous ເປັນເອກະລັກຂອງການເຄືອບ SiCສະຫນອງຄວາມແຂງຂອງພື້ນຜິວທີ່ດີເລີດ, ຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່ແລະ tear ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງອຸນຫະພູມສູງ.
4. ການເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ:substrate ຂອງພວກເຮົາຮັບປະກັນການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດໃນຂະບວນການ semiconductor ທີ່ລະອຽດອ່ອນ, ສະເຫນີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸທີ່ເຂັ້ມງວດ.
5. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕະຫຼາດກ້ວາງ:ໄດ້SiC coated graphite susceptorຕະຫຼາດຍັງສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວຍ້ອນຄວາມຕ້ອງການຂອງຜະລິດຕະພັນເຄືອບ SiC ກ້າວຫນ້າໃນການຜະລິດ semiconductor ເພີ່ມຂຶ້ນ, ການຈັດຕໍາແຫນ່ງ substrate ນີ້ເປັນຜູ້ນສໍາຄັນໃນທັງຕະຫຼາດ carrier wafer graphite ແລະຕະຫຼາດ silicon carbide coated graphite trays.
ຄຸນສົມບັດທົ່ວໄປຂອງວັດສະດຸ Graphite ພື້ນຖານ:
| ຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ປາກົດ: | 1.85 g/cm3 |
| ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າ: | 11 μΩm |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| ຄວາມແຂງຂອງຝັ່ງ: | 58 |
| ຂີ້ເທົ່າ: | <5ppm |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ | |
| 性质 / ຊັບສິນ | 典型数值 / ຄ່າປົກກະຕິ |
| 晶体结构 / ໂຄງສ້າງໄປເຊຍກັນ | FCC ໄລຍະβ 多晶，主要为 (111) 取向 |
| 密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / ຄວາມແຂງ | 2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g) |
| 晶粒大小 / Grain SiZe | 2-10 ມມ |
| 纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
| ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1· ຄ-1 |
| 升华温度 / ອຸນຫະພູມ Sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
| 杨氏模量 / ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 300W·m-1· ຄ-1 |
| 热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ພະລັງງານ VET ແມ່ນຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງດ້ວຍການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບກາກບອນແກ້ວ, ການເຄືອບກາກບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດສະຫນອງພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງຕ່າງໆສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະ photovoltaic.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.
ພວກເຮົາພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ, ແລະໄດ້ເຮັດວຽກອອກເຕັກໂນໂລຢີສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate ເຄັ່ງຄັດຂື້ນແລະມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະ detachment.
ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຢ່າງອົບອຸ່ນ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!
