RTP/RTA SiC Coating Carrier ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial MOCVD

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier ແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງທີ່ຖືກອອກແບບເພື່ອສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໄລຍະເວລາທີ່ຂະຫຍາຍອອກໄປ. ມັນມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກການປຸງແຕ່ງ wafer.


  • ສະ​ຖານ​ທີ່​ຕົ້ນ​ກໍາ​ເນີດ​:ຈີນ
  • ໂຄງ​ປະ​ກອບ​ການ​ໄປ​ເຊຍ​ກັນ​:ໄລຍະ FCCβ
  • ຄວາມໜາແໜ້ນ:3.21 g/ຊມ
  • ຄວາມແຂງ:2500 Vickers
  • ຂະ​ຫນາດ​ເມັດ​ພືດ​:2-10 ມມ
  • ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ:99.99995%
  • ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ:640J·kg-1·K-1
  • ອຸນຫະພູມ sublimation:2700℃
  • ຄວາມ​ເຂັ້ມ​ແຂງ Felexural​:415 Mpa (RT 4 ຈຸດ)
  • ໂມດູລຂອງໄວໜຸ່ມ:430 Gpa (4pt ງໍ, 1300℃)
  • ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE):4.5 10-6K-1
  • ການນໍາຄວາມຮ້ອນ:300 (W/MK)
  • ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

    ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

    SiC Coating Carrier For RTP/RTA ເປັນອົງປະກອບຫຼັກທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ເອີ້ນວ່າ Rapid Thermal Processing & Annealing, ພວກເຮົາໃຊ້ເທັກໂນໂລຍີທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງບັນທຸກ silicon carbide ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການເຄືອບທີ່ດີແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ດີເລີດ, ເປັນ. ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີສູງແລະຄຸນສົມບັດສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ.

    ຄຸນ​ນະ​ສົມ​ບັດ​ຂອງ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ​ຂອງ​ພວກ​ເຮົາ​:

    1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1700 ℃.
    2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ
    3. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ: ອາຊິດ, alkali, ເກືອແລະ reagents ອິນຊີ.

    4. ຄວາມແຂງສູງ, ພື້ນຜິວຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກລະອຽດ.
    5. ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະທົນທານຫຼາຍ

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ

    性质 / ຊັບສິນ

    典型数值 / ມູນຄ່າປົກກະຕິ

    晶体结构 / ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ

    ໄລຍະ FCC β多晶,主要为(111) 取向

    密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ

    3.21 g/cm³

    硬度 / ຄວາມແຂງ

    2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g)

    晶粒大小 / ເມັດ SiZe

    2-10 ມມ

    纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ

    99.99995%

    热容 / ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ

    640 J·kg-1· ຄ-1

    升华温度 / ອຸນຫະພູມ sublimation

    2700℃

    抗弯强度 / ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural

    415 MPa RT 4 ຈຸດ

    杨氏模量 / Modulus ຂອງຫນຸ່ມ

    430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃

    导热系数 / ຄວາມຮ້ອນການນໍາ

    300W·m-1· ຄ-1

    热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    ພະລັງງານ VET ແມ່ນຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງດ້ວຍການເຄືອບທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ການເຄືອບກາກບອນແກ້ວ, ການເຄືອບກາກບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ, ສາມາດສະຫນອງພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງຕ່າງໆສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະ photovoltaic.

    ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.

    ພວກເຮົາພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ, ແລະໄດ້ເຮັດວຽກອອກເຕັກໂນໂລຢີສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate ເຄັ່ງຄັດຂື້ນແລະມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະ detachment.

    ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຢ່າງອົບອຸ່ນ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • ທີ່ຜ່ານມາ:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • WhatsApp ສົນທະນາອອນໄລນ໌!