Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ສໍາລັບ LED Etching

ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ສັ້ນ​:

Silicon carbide susceptor ສໍາລັບການ etching LED (SiC tray) ເປັນອຸປະກອນເສີມພິເສດສໍາລັບການ etching silicon ເລິກ (ICP ເຄື່ອງ etching). carrier wafer, ເອີ້ນກັນວ່າ wafer carrier, silicon wafer carrier, ເອີ້ນກັນວ່າ pocket wafer. ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ semiconductor CVD ແລະສູນຍາກາດ sputtering.


ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

susceptor ເຄືອບ Silicon carbide ແມ່ນa ກະແຈອົງປະກອບທີ່ນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ຕ່າງໆ.ພວກເຮົານໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີສິດທິບັດຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຮັດໃຫ້ silicon carbide susceptor ເຄືອບດ້ວຍຄວາມ​ບໍ​ລິ​ສຸດ​ສູງ​ທີ່​ສຸດ​,ດີການເຄືອບຄວາມເປັນເອກະພາບແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ດີເລີດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງແລະຄຸນສົມບັດສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ.

ພະລັງງານ VET ແມ່ນ ໄດ້ຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງທີ່ມີການເຄືອບ CVD,ສາມາດສະຫນອງຕ່າງໆພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງສໍາລັບ semiconductor ແລະອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic. Oທີມງານດ້ານວິຊາການ ur ມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.

ພວກເຮົາສືບຕໍ່ພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າເພື່ອສະຫນອງອຸປະກອນທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ,ແລະໄດ້ເຮັດວຽກອອກເຕັກໂນໂລຊີສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ການຜູກມັດລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate ໄດ້ tighter ແລະມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະ detachment.

Fອາ​ຫານ​ຂອງ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ​ຂອງ​ພວກ​ເຮົາ​:

1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1700.
2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ
3. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ: ອາຊິດ, alkali, ເກືອແລະ reagents ອິນຊີ.
4. ຄວາມແຂງສູງ, ພື້ນຜິວຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກລະອຽດ.
5. ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະທົນທານຫຼາຍ

CVD SiC薄膜基本物理性能

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ

性质 / ຊັບສິນ

典型数值 / ມູນຄ່າປົກກະຕິ

晶体结构 / ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ

ໄລຍະ FCC β多晶,主要为(111) 取向

密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ

3.21 g/cm³

硬度 / ຄວາມແຂງ

2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g)

晶粒大小 / ເມັດ SiZe

2-10 ມມ

纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ

99.99995%

热容 / ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ

640 J·kg-1· ຄ-1

升华温度 / ອຸນຫະພູມ sublimation

2700℃

抗弯强度 / ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural

415 MPa RT 4 ຈຸດ

杨氏模量 / Modulus ຂອງຫນຸ່ມ

430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃

导热系数 / ຄວາມຮ້ອນການນໍາ

300W·m-1· ຄ-1

热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຢ່າງອົບອຸ່ນ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ທີ່ຜ່ານມາ:
  • ຕໍ່ໄປ:

  • WhatsApp ສົນທະນາອອນໄລນ໌!