ວິທີການກະກຽມແລະຄຸນລັກສະນະປະສິດທິພາບຂອງການເຄືອບ CVD silicon carbide ແມ່ນຫຍັງ?

CVD (ການຖິ້ມຂີ້ເຫຍື້ອດ້ວຍສານເຄມີ) ແມ່ນວິທີການທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການກະກຽມການເຄືອບຊິລິຄອນຄາໄບ.ການເຄືອບ CVD silicon carbideມີລັກສະນະປະສິດທິພາບທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ. ບົດຄວາມນີ້ຈະແນະນໍາວິທີການກະກຽມຂອງການເຄືອບ CVD silicon carbide ແລະລັກສະນະປະສິດທິພາບຂອງຕົນ.

1. ວິທີການກະກຽມຂອງການເຄືອບ CVD silicon carbide

ວິທີການ CVD ປ່ຽນທາດຄາໂບໄຮເດຣດເປັນຄາບຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ແຂງພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງ. ອີງຕາມການຄາຣະວາຂອງທາດອາຍຜິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ມັນສາມາດແບ່ງອອກເປັນໄລຍະອາຍແກັສ CVD ແລະໄລຍະຂອງແຫຼວ CVD.

1. ໄລຍະ vapor CVD

ໄລຍະອາຍພິດ CVD ໃຊ້ທາດຄາໂບໄຮເດຣດ, ປົກກະຕິແລ້ວທາດປະສົມ organosilicon, ເພື່ອບັນລຸການເຕີບໂຕຂອງແຜ່ນຊີລິຄອນຄາໄບ. ທາດປະສົມ organosilicon ທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປປະກອບມີ methylsilane, dimethylsilane, monosilane, ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງປະກອບເປັນຮູບເງົາ silicon carbide ເທິງຊັ້ນຍ່ອຍຂອງໂລຫະໂດຍການຂົນສົ່ງທາດອາຍແກັສ precursors ເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາອຸນຫະພູມສູງ. ພື້ນທີ່ອຸນຫະພູມສູງຢູ່ໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຜະລິດໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ induction ຫຼືຄວາມຮ້ອນຕ້ານທານ.

2. ໄລຍະຂອງແຫຼວ CVD

Liquid-phase CVD ໃຊ້ຄາຣະວາຂອງແຫຼວ, ປົກກະຕິແລ້ວສານລະລາຍອິນຊີທີ່ມີຊິລິໂຄນແລະສານປະສົມ silanol, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະເປັນໄອໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນແຜ່ນ silicon carbide ໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນ substrate ໂດຍຜ່ານປະຕິກິລິຍາເຄມີ.

2. ລັກສະນະການປະຕິບັດຂອງການເຄືອບ CVD silicon carbide

1.Excellent ປະສິດທິພາບອຸນຫະພູມສູງ

ການເຄືອບ CVD silicon carbideສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງ. ມັນມີຄວາມສາມາດເຮັດວຽກຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະສາມາດທົນກັບສະພາບທີ່ຮຸນແຮງໃນອຸນຫະພູມສູງ.

2.ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີ

ການເຄືອບ CVD silicon carbideມີຄວາມແຂງສູງແລະທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ດີ. ມັນປົກປ້ອງຊັ້ນຍ່ອຍຂອງໂລຫະຈາກການສວມໃສ່ແລະການກັດກ່ອນ, ຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງວັດສະດຸ.

3. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ

ການເຄືອບ CVD silicon carbideມີຄວາມທົນທານສູງຕໍ່ກັບສານເຄມີທົ່ວໄປເຊັ່ນອາຊິດ, ເປັນດ່າງ ແລະເກືອ. ມັນທົນທານຕໍ່ການໂຈມຕີທາງເຄມີແລະການກັດກ່ອນຂອງ substrate.

4. ຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາ

ການເຄືອບ CVD silicon carbideມີຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາແລະຄຸນສົມບັດການ lubricating ຕົນເອງທີ່ດີ. ມັນຫຼຸດຜ່ອນ friction ແລະການສວມໃສ່ແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸ.

5.ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ

ການເຄືອບ CVD silicon carbide ມີຄຸນສົມບັດການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ. ມັນສາມາດດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນໄດ້ໄວແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນຂອງຖານໂລຫະ.

6.Excellent ຄຸນສົມບັດ insulation ໄຟຟ້າ

ການເຄືອບ CVD silicon carbide ມີຄຸນສົມບັດ insulation ໄຟຟ້າທີ່ດີແລະສາມາດປ້ອງກັນການຮົ່ວໄຫຼໃນປະຈຸບັນ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການປ້ອງກັນ insulation ຂອງອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ.

7. ປັບຄວາມຫນາແລະອົງປະກອບ

ໂດຍການຄວບຄຸມເງື່ອນໄຂໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ CVD ແລະຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຄາຣະວາ, ຄວາມຫນາແລະອົງປະກອບຂອງແຜ່ນ silicon carbide ສາມາດປັບໄດ້. ນີ້ສະຫນອງທາງເລືອກຫຼາຍຢ່າງແລະຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຫລາກຫລາຍ.

ໃນສັ້ນ, ການເຄືອບ CVD silicon carbide ມີການປະຕິບັດອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ, ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີ, ຄ່າສໍາປະສິດ friction ຕ່ໍາ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີແລະຄຸນສົມບັດ insulation ໄຟຟ້າ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບ CVD silicon carbide ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂົງເຂດ, ລວມທັງເອເລັກໂຕຣນິກ, optics, aerospace, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ແລະອື່ນໆ.