ຜູ້ຜະລິດຈີນ SiC Coated Graphite MOCVD Epitaxy Susceptor

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

ຄວາມບໍລິສຸດ < 5ppm
‣ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງ doping ດີ
‣ ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງແລະການຍຶດຕິດ
‣ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະຄາບອນທີ່ດີ

‣ ການປັບແຕ່ງແບບມືອາຊີບ
‣ ໄລຍະເວລານໍາທາງສັ້ນ
‣ ການສະຫນອງທີ່ຫມັ້ນຄົງ
‣ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບແລະການປັບປຸງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ

Epitaxy ຂອງ GaN ໃນ Sapphire(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxy ຂອງ GaN ເທິງ Si Substrate(UVC);
Epitaxy ຂອງ GaN ເທິງ Si Substrate(ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ);
Epitaxy ຂອງ Si ເທິງ Si Substrate(ວົງຈອນປະສົມປະສານ);
Epitaxy ຂອງ SiC ໃນ Substrate SiC(ຊັ້ນໃຕ້ດິນ);
Epitaxy ຂອງ InP ໃນ InP

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫຼດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ຄຸນະພາບສູງ MOCVD Susceptor ຊື້ອອນໄລນ໌ໃນປະເທດຈີນ

wafer ຕ້ອງຜ່ານຫຼາຍຂັ້ນຕອນກ່ອນທີ່ມັນຈະກຽມພ້ອມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກ. ຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນອັນຫນຶ່ງແມ່ນຊິລິໂຄນ epitaxy, ໃນ wafers ໄດ້ຖືກປະຕິບັດກ່ຽວກັບ graphite susceptors. ຄຸນສົມບັດແລະຄຸນນະພາບຂອງ susceptors ມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ຂອງ wafer.

ສໍາລັບໄລຍະການຝາກຂອງຮູບເງົາບາງໆເຊັ່ນ epitaxy ຫຼື MOCVD, VET ສະຫນອງອຸປະກອນ graphitee ບໍລິສຸດທີ່ສຸດທີ່ໃຊ້ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນ substrates ຫຼື "wafers". ຢູ່ໃນຫຼັກຂອງຂະບວນການ, ອຸປະກອນນີ້, ເຄື່ອງຕ້ານການ epitaxy ຫຼືເວທີດາວທຽມສໍາລັບ MOCVD, ທໍາອິດແມ່ນຂຶ້ນກັບສະພາບແວດລ້ອມ deposition:

ອຸນຫະພູມສູງ.
ສູນຍາກາດສູງ.
ການນໍາໃຊ້ທາດອາຍແກັສຮຸກຮານຄາຣະວາ.
ການປົນເປື້ອນສູນ, ບໍ່ມີການປອກເປືອກ.
ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ອາຊິດທີ່ເຂັ້ມແຂງໃນລະຫວ່າງການທໍາຄວາມສະອາດ

ພະລັງງານ VET ແມ່ນຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງທີ່ມີການເຄືອບສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະ photovoltaic. ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.

ພວກເຮົາພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອສະຫນອງວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ, ແລະໄດ້ເຮັດວຽກອອກເຕັກໂນໂລຢີສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ຄວາມຜູກພັນລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate ເຄັ່ງຄັດຂື້ນແລະມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະ detachment.

ຄຸນນະສົມບັດຂອງຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາ:

1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1700 ℃.
2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ
3. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດ: ອາຊິດ, alkali, ເກືອແລະ reagents ອິນຊີ.
4. ຄວາມແຂງສູງ, ພື້ນຜິວຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກລະອຽດ.
5. ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະທົນທານຫຼາຍ

CVD SiC薄膜基本物理性能 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ
性质 / ຊັບສິນ	典型数值 / ມູນຄ່າປົກກະຕິ
晶体结构 / ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	ໄລຍະ FCC β多晶，主要为（111) 取向
密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ	3.21 g/cm³
硬度 / ຄວາມແຂງ	2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g)
晶粒大小 / ເມັດ SiZe	2-10 ມມ
纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	99.99995%
热容 / ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	640 J·kg^-1· ຄ^-1
升华温度 / ອຸນຫະພູມ sublimation	2700℃
抗弯强度 / ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	415 MPa RT 4 ຈຸດ
杨氏模量 / Modulus ຂອງຫນຸ່ມ	430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
导热系数 / ຄວາມຮ້ອນລການນໍາ	300W·m^-1· ຄ^-1
热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5×10^-6K^-1