ເຮືອ PECVD ຄວາມບໍລິສຸດສູງ Graphite ສໍາລັບແຜງພະລັງງານແສງອາທິດ
ລາຍລະອຽດ
1).ຖືກຮັບຮອງເອົາເພື່ອລົບລ້າງເຕັກໂນໂລຢີ "ເລນສີ", ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າບໍ່ມີ "ເລນສີ" ໃນຂະບວນການໄລຍະຍາວ.
2).ຜະລິດຈາກວັດສະດຸ graphite ນໍາເຂົ້າ SGL ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາແລະມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ.
3).ການນໍາໃຊ້ເຊລາມິກ 99.9% ສໍາລັບການປະກອບເຊລາມິກທີ່ມີການປະຕິບັດທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະຫຼັກຖານສະແດງ brust.
4).ການນໍາໃຊ້ອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງຄວາມແມ່ນຍໍາເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງແຕ່ລະພາກສ່ວນ.
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ
ລາຍການ | ປະເພດ | ໝາຍເລກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer |
ເຮືອ PECVD Graphite — ຊຸດ 156 | ເຮືອໄຟ 156-13 | 144 |
ເຮືອໄຟ 156-19 | 216 | |
ເຮືອໄຟ 156-21 | 240 | |
ເຮືອໄຟ 156-23 | 308 | |
ເຮືອ PECVD Graphite — ຊຸດ 125 | 125-15 ເຮືອ graphite | 196 |
ເຮືອໄຟ 125-19 | 252 | |
ເຮືອໄຟ 125-21 | 280 |
ຜະລິດຕະພັນເພີ່ມເຕີມ