RTP / RTA SiC Coating Carrier fir MOCVD Epitaxial Wuesstem

Kuerz Beschreiwung:

VET Energy RTP / RTA SiC Coating Carrier ass e High-Performance Produkt entwéckelt fir konsequent an zouverlässeg Leeschtung iwwer eng verlängert Period ze bidden. Et huet super gutt Hëtzt Resistenz an thermesch Uniformitéit, héich Rengheet, Erosioun Resistenz, mécht et déi perfekt Léisung fir wafer Veraarbechtung Uwendungen.


  • Plaz vun Urspronk:China
  • Kristallstruktur:FCCβ Phase
  • Densitéit:3,21 g/cm
  • Hardness:2500 Vicker
  • Grain Gréisst:2 ~ 10 μm
  • Chemesch Rengheet:99,99995%
  • Hëtzt Kapazitéit:640 J·kg-1·K-1
  • Sublimatioun Temperatur:2700 ℃
  • Felexural Kraaft:415 MPa (RT 4-Punkt)
  • Young's Modulus:430 Gpa (4pt Béi, 1300 ℃)
  • Thermesch Expansioun (CTE):4.5 10-6K-1
  • Thermesch Konduktivitéit:300 (W/MK)
  • Produit Detailer

    Produit Tags

    SiC Coating Carrier Fir RTP / RTA ass e Schlësselkomponent, deen an de Hallefleitfabrikatiounsprozesser benotzt gëtt, genannt Rapid Thermal Processing & Annealing, mir benotzen eis patentéiert Technologie fir de Siliziumcarbid Carrier mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an engem exzellente Liewensdauer ze maachen, wéi och héich chemesch Resistenz an thermesch Stabilitéit Eegeschaften.

    Features vun eise Produkter:

    1. Héich Temperatur Oxidatioun Resistenz bis 1700 ℃.
    2. Héich Rengheet an thermesch Uniformitéit
    3. Exzellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenz.

    4. Héich Hardness, kompakt Uewerfläch, fein Partikel.
    5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Basis kierperlech Eegeschafte vun CVD SiCBeschichtung

    性质 / Immobilie

    典型数值 / Typesch Wäert

    晶体结构 / Kristallstruktur

    FCC β Phase多晶,主要为(111) 取向

    密度 / Dicht

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hardness

    2500 维氏硬度(500g Belaaschtung)

    晶粒大小 / Grain Gréisst

    2 ~ 10 μm

    纯度 / Chemesch Rengheet

    99,99995%

    热容 / Hëtzt Kapazitéit

    640 jkg-1·K-1

    升华温度 / Sublimatioun Temperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Flexural Kraaft

    415 MPa RT 4-Punkt

    杨氏模量 / Young's Modulus

    430 Gpa 4pt Béi, 1300 ℃

    导热系数 / ThermlKonduktivitéit

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Thermal Expansioun (CTE)

    4,5x10-6K-1

    1

    2

    VET Energy ass de richtege Hiersteller vu personaliséierte Graphit- a Siliziumkarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC Beschichtung, TaC Beschichtung, glaslech Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., kënne verschidde personaliséiert Deeler fir Hallefleit- a Photovoltaikindustrie liwweren.

    Eis technesch Equipe kënnt aus Top Gewalt Fuerschung Institutiounen, kann méi professionell Material Léisungen fir Iech bidden.

    Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie ausgeschafft, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofbau maachen kann.

    Wëllkomm Iech häerzlech op eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider Diskussioun hunn!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • virdrun:
  • Nächste:

  • WhatsApp Online Chat!