VET EnergiePECVD Grafitboot fir Solarzellen ass e Kärverbrauchsmaterial entworf fir de PECVD (Plasma verstäerkte chemesche Dampdepositioun) Prozess vu Solarzellen. D'Graphitboot ass aus héichreiniger isostatesche Graphit mat enger Porositéit vu manner wéi 15% an enger Uewerflächrauheet vu Ra≤1.6μm. Et huet excellent Eegeschafte wéi héich Temperatur Resistenz, corrosion Resistenz, an dimensional Stabilitéit. Exzellent Dimensiounsstabilitéit an thermesch Konduktivitéit garantéieren eenheetlech Filmdepositioun a verbessert d'Batterieeffizienz. Et kann e stabile Carrier an enger Héichtemperatur- an Héichdrock-PECVD-Ëmfeld ubidden fir eenheetlech Oflagerung an héich Qualitéit vu Solarzellfilmer ze garantéieren.
Graphitmaterial aus SGL:
Typesch Parameter: R6510 | |||
Index | Test Norm | Wäert | Eenheet |
Duerchschnëtt Kärgréisst | ISO 13320 | 10 | μm |
Bulk Dicht | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Open Porositéit | DIN 66133 | 10 | % |
Mëttelméisseg Pore Gréisst | DIN 66133 | 1.8 | μm |
Permeabilitéit | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwell Hardness HR5/100 | DIN IEC 60413/303 | 90 | HR |
Spezifesch elektresch Resistivitéit | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Flexural Kraaft | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kompressiv Kraaft | DIN 51910 | 130 | MPa |
Young d'Modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Thermesch Expansioun (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2x10-6 | K-1 |
Wärmekonduktivitéit (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Et ass speziell fir héicheffizient Solarzellenfabrikatioun entworf, ënnerstëtzt G12 grouss Waferveraarbechtung. Optimiséiert Carrier Design erhéicht d'Duerchsatz wesentlech, wat méi héich Ausbezuelungsraten a méi niddereg Produktiounskäschte erméiglecht.
Artikel | Typ | Zuel wafer Carrier |
PEVCD Grephite Boot - D'156 Serie | 156-13 grephite Boot | 144 |
156-19 grephit Boot | 216 | |
156-21 grephit Boot | 240 | |
156-23 Grafit Boot | 308 | |
PEVCD Grephite Boot - D'125 Serie | 125-15 grephite Boot | 196 |
125-19 grephite Boot | 252 | |
125-21 grphite Boot | 280 |