Chemesch Dampdepositioun (CVD) bezitt sech op de Prozess fir e festen Film op der Uewerfläch vun engem Silizium ze deposéierenwaferduerch eng chemesch Reaktioun vun enger Gasmëschung. No de verschiddene Reaktiounsbedéngungen (Drock, Virgänger), kann et a verschidden Ausrüstungsmodeller opgedeelt ginn.
Fir wat Prozesser ginn dës zwee Apparater benotzt?
PECVD(Plasma Enhanced) Ausrüstung ass déi meescht an am meeschte benotzt, benotzt an OX, Nitrid, Metallpaart, amorph Kuelestoff, etc .; LPCVD (Low Power) gëtt normalerweis an Nitrid, Poly, TEOS benotzt.
Wat ass de Prinzip?
PECVD - e Prozess dee perfekt Plasma Energie an CVD kombinéiert. PECVD Technologie benotzt Low-Temperatur Plasma fir Glühfrëndung bei der Kathode vun der Prozesskammer (dh Probeschacht) ënner nidderegen Drock ze induzéieren. Dëst Glühwäin oder aner Heizungsapparat kann d'Temperatur vun der Probe op e virbestëmmten Niveau erhéijen, an dann eng kontrolléiert Betrag vu Prozessgas aféieren. Dëse Gas mécht eng Serie vu chemeschen a Plasma Reaktiounen, a bildt endlech e festen Film op der Uewerfläch vun der Probe.
LPCVD - Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) ass entwéckelt fir den Operatiounsdrock vum Reaktiounsgas am Reaktor op ongeféier 133Pa oder manner ze reduzéieren.
Wat sinn d'Charakteristiken vun all?
PECVD - E Prozess dee perfekt Plasma Energie an CVD kombinéiert: 1) Low-Temperatur Operatioun (evitéieren héich Temperatur Schued un der Ausrüstung); 2) Schnell Filmwachstum; 3) Net picky iwwer Materialien, OX, Nitride, Metallpaart, amorph Kuelestoff kënnen all wuessen; 4) Et gëtt en in-situ-Iwwerwaachungssystem, deen d'Rezept duerch Ionparameter, Gasflossgeschwindegkeet, Temperatur a Filmdicke upassen kann.
LPCVD - Dënn Filmer, déi vum LPCVD deposéiert sinn, hunn eng besser Schrëttofdeckung, gutt Zesummesetzung a Strukturkontrolle, héich Oflagerungsrate an Ausgang. Zousätzlech erfuerdert LPCVD kee Carrier Gas, sou datt et d'Quell vun der Partikelverschmotzung staark reduzéiert a vill an der Héichwäertege Hallefleitindustrie fir dënn Filmdepositioun benotzt gëtt.
Wëllkomm Clienten aus der ganzer Welt fir eis fir eng weider Diskussioun ze besichen!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Post Zäit: Jul-24-2024