Wéi uewen gewisen, ass eng typesch
Déi éischt Halschent:
Heizelement (Heizspiral): ronderëm den Schmelzröhre läit, normalerweis aus Resistenzdraht, benotzt fir d'Innere vum Schmelzröhre ze heizen.
Quarz Tube: De Kär vun engem waarmen Oxidatiounsofen, aus héichrengem Quarz, deen héich Temperaturen widderstoen kann a chemesch inert bleift.
Gas Feed: Läit op der ieweschter oder Säit vum Schmelzröhre, gëtt et benotzt fir Sauerstoff oder aner Gase an d'Innere vum Schmelzröhre ze transportéieren.
SS Flange: Komponenten déi Quarzröhre a Gasleitungen verbannen, fir d'Dichtheet an d'Stabilitéit vun der Verbindung ze garantéieren.
Gas Feed Lines: Päifen déi den MFC mam Gasversuergungsport fir Gastransmission verbannen.
MFC (Mass Flow Controller): En Apparat deen de Gasfloss an engem Quarzröhre kontrolléiert fir d'Quantitéit u Gas präzis ze regelen.
Ventilatioun: Benotzt fir den Auspuffgas vu bannen am Schmelzröhre no baussen vun der Ausrüstung ze ventiléieren.
Ënneschten Deel
Silicon Wafers am Holder: Silicon Wafers ginn an engem speziellen Holder ënnerbruecht fir eenheetlech Hëtzt während der Oxidatioun ze garantéieren.
Wafer Holder: Benotzt fir de Siliziumwafer ze halen an ze garantéieren datt de Siliziumwafer während dem Prozess stabil bleift.
Sockel: Eng Struktur déi e Siliziumwafer Holder hält, normalerweis aus engem héije Temperaturbeständeg Material.
Lift: Benotzt fir Waferhalter an an aus Quarzröhren opzehiewen fir automatesch Luede an Ausluede vu Siliziumwafers.
Wafer Transfer Robot: Läit op der Säit vum Schmelzröhrapparat, gëtt et benotzt fir de Siliziumwafer automatesch aus der Këscht ze läschen an an den Schmelzröhre ze setzen, oder se no der Veraarbechtung ewechzehuelen.
Kassettlagerkarussell: Kassettlagerkarussell gëtt benotzt fir eng Këscht mat Siliziumwaferen ze späicheren a ka fir Roboter Zougang rotéiert ginn.
Wafer Kassett: Wafer Kassett gëtt benotzt fir d'Silicon Wafers ze späicheren an ze transferéieren fir ze veraarbecht.
Post Zäit: Apr-22-2024