Wéi uewen gewisen, ass eng typesch
Déi éischt Halschent:
▪ Heizelement (Heizspiral):
ronderëm den Uewen Rouer läit, normalerweis aus Resistenz Dréit ofgepëtzt, benotzt der bannenzeg vun der Uewen eraus ze Hëtzt.
▪ Quarz Tube:
De Kär vun engem waarmen Oxidatiounsofen, aus héichrengem Quarz, deen héich Temperaturen widderstoen kann a chemesch inert bleift.
▪ Gas Feed:
Läit op der ieweschter oder Säit vum Schmelzröhre, gëtt et benotzt fir Sauerstoff oder aner Gase an d'Innere vum Schmelzröhre ze transportéieren.
▪ SS Flange:
Komponenten déi Quarzröhre a Gasleitungen verbannen, fir d'Dichtheet an d'Stabilitéit vun der Verbindung ze garantéieren.
▪ Gas Feed Linnen:
Päifen déi den MFC mam Gasversuergungshafen fir d'Gastransmissioun verbannen.
▪ MFC (Mass Flow Controller):
En Apparat deen de Flux vum Gas an engem Quarzröhre kontrolléiert fir d'Quantitéit u Gas präzis ze regelen.
▪ Ventilatioun:
Benotzt fir den Auspuffgas vu bannen am Schmelzröhre no baussen vun der Ausrüstung ze ventiléieren.
ënneschten Deel:
▪ Silicon Wafers am Halter:
Silicon wafers sinn an engem speziellen Holder ënnerbruecht fir eenheetlech Hëtzt während Oxidatioun ze garantéieren.
▪ Wafer Holder:
Benotzt fir de Siliziumwafer ze halen an ze garantéieren datt de Siliziumwafer während dem Prozess stabil bleift.
▪ Sockel:
Eng Struktur déi e Siliziumwafer Holder hält, normalerweis aus engem héichtemperaturbeständeg Material.
▪ Lift:
Benotzt fir Waferhalter an an aus Quarzröhre ze hiewen fir automatesch Luede an Ausluede vu Siliziumwafers.
▪ Wafer Transfer Roboter:
läit op der Säit vun der Schmelzhäre Apparat, et gëtt benotzt automatesch de Silicon wafer aus der Këscht ewechzehuelen an et an der Schmelzhäre Rouer Plaz, oder ewechzehuelen et no der Veraarbechtung.
▪ Kassettlagerkarussell:
Kassettlagerkarussell gëtt benotzt fir eng Këscht mat Siliziumwaferen ze späicheren a ka fir Roboter Zougang rotéiert ginn.
▪ Wafer Kassett:
Wafer Kassett gëtt benotzt fir d'Siliziumwaferen ze späicheren an ze transferéieren fir ze veraarbecht.
Post Zäit: Apr-22-2024