Fortgeschratt SiC Cantilever Paddle fir Wafer Veraarbechtung

Fortgeschratt SiC Cantilever Paddle fir Wafer Processing Featured Image

Kuerz Beschreiwung:

De Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing lancéiert vum Vet-China benotzt High-Tech SiC Materialien fir d'Effizienz an d'Präzisioun vun der Waferveraarbechtung ze verbesseren. D'Vet-china Cantilever Paddel weist exzellent Hëtztbeständegkeet a Korrosiounsbeständegkeet, suergt fir stabil Wafer Handhabungsleistung an haart Fabrikatiounsëmfeld, wat et eng ideal Wiel mécht fir d'Produktiounsausbezuelen ze verbesseren.

Schéckt E-Mail un eis Download als PDF

Produit Detailer

Produit Tags

De FortgeschrattSiC Cantilever Paddlefir Wafer Processing erstallt vum Vet-China bitt eng exzellent Léisung fir Hallefleitfabrikatioun. Dëse Cantilever Paddel ass aus SiC (Siliciumcarbid) Material gemaach, a seng héich Härtheet an Hëtztbeständegkeet erlaben et exzellent Leeschtung an héijen Temperaturen a korrosive Ëmfeld ze halen. Den Design vum Cantilever Paddle erlaabt de Wafer zouverlässeg während der Veraarbechtung z'ënnerstëtzen, wat de Risiko vu Fragmentatioun a Schued reduzéiert.

SiC Cantilever Paddleass e spezialiséierte Bestanddeel deen an Hallefleitfabrikatiounsausrüstung benotzt gëtt wéi Oxidatiounsofen, Diffusiounsofen, an Glühwäin, d'Haaptbenotzung ass fir Wafer Luede an Entlueden, ënnerstëtzt a transportéiert Wafere wärend Héichtemperaturprozesser.

Gemeinsam StrukturenvunSiCcantileverpaddéieren: eng cantilever Struktur, op een Enn fixéiert a fräi um aneren, huet typesch eng flaach a paddle-wëll Design.

VET Energy benotzt héich Rengheet rekristalliséiert Siliziumkarbidmaterialien fir d'Qualitéit ze garantéieren.

Physikalesch Eegeschafte vum Rekristalliséierte Siliziumkarbid
Immobilie	Typesch Wäert
Aarbechtstemperatur (°C)	1600°C (mat Sauerstoff), 1700°C (reduzéierend Ëmfeld)
SiC Inhalt	> 99,96%
Gratis Si Inhalt	< 0,1%
Bulk Dicht	2,60-2,70 g/cm³
Anscheinend Porositéit	< 16%
Kompressiounsstäerkt	> 600MPa
Kale Béie Kraaft	80-90 MPa (20°C)
Hot Béie Kraaft	90-100 MPa (1400°C)
Thermesch Expansioun @1500°C	4,70 10^-6/°C
Wärmeleitung @1200°C	23W/m•K
Elastesche Modul	240 GPa
Wärmeschockbeständegkeet	Extrem gutt