SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers/susceptor
Omnes susceptores nostri fiunt graphite isostatice virtutis altae. Prodest alta puritas graphitarum nostrorum - praesertim ad processuum provocantium sicut epitaxiam, crystallum crescentem, implantationem et plasma engraving, necnon ad productionem xxxiii ductus.
Lineamenta nostra producta:
1. Princeps oxidationis resistentiae temperatus usque ad 1700℃.
2. High puritas ac scelerisque uniformitatem
3. Praeclara corrosio resistentiae: acidum, alcali, salis et reagentia organica.
4. Alta duritia, superficies compacta, particulae tenuis.
5. Longior vita servitus, et magis durabilis
CVD SiC薄膜基本物理性能 Basic physicae CVD SiCcoating | |
性质 / Property | 典型数值 / Valorem Typicam |
晶体结构 / Crystal Structure | FCC β phase.111)取向 |
密度 / Density | 3.21 g/cm³ |
硬度 / Duritia | MMD -500g onus |
晶粒大小 / Frumentum | 2~10μm |
纯度 / Puritas chemica | 99.99995% |
热容 / Calor Capacitas | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimatio Temperature | 2700℃ |
抗弯强度 / Flexural Fortitudo | 415 MPa RT 4-punctum |
杨氏模量 / Modulus iuvenum | 430 Gpa 4pt bend, 1300℃ |
导热系数 / ThermalConductivity | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Scelerisque Expansion(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy est realis fabrica graphitae nativus et carbidi siliconis productorum cum diversis coatingiis sicut SiC tunica, TaC tunica, carbonis tunica vitrea, carbonis pyrolytica tunica, etc., varias partes nativus pro semiconductore et industria photovoltaicae supplere potest.
Nostra technica turma e supremo institutionum domesticarum investigationum venit, solutiones tibi magis professionales materiales praebere potest.
Processus progressus continenter enucleamus ut materiae graviores praebeant et technologiam patentem exclusivam elaboraverint, quae vinculum inter tunicam et subiectum arctius et minus proclivior ad detractionem facere potest.
Vehementer te salvete ut officinas nostras visitetis, disputationem porro habeamus!