SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptores

Brevis descriptio:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor pro Epitaxial Incrementum est summus perficientur producto destinatus ut constans et certa perficiendi per longius tempus provideret. Eximius bonus calor resistentiam habet et uniformitatem scelerisque, puritatem altam, exesa resistentiam, et perfectam solutionem lagani applicationis processus faciens.


Product Detail

Product Tags

SiC coating graphite MOCVD Wafer carriers/susceptor

Omnes susceptores nostri fiunt graphitae isostaticae virtutis altae. Prodest alta puritas graphitarum nostrorum - praesertim ad processuum provocantium sicut epitaxiam, crystallum crescentem, implantationem et plasma engraving, necnon ad productionem xxxiii ductus.

 

Lineamenta nostra producta:

1. Calefacta oxidatio resistentiae usque ad 1700℃.
2. High puritas ac scelerisque uniformitatem
3. Praeclara corrosio resistentiae: acidum, alcali, salis et reagentia organica.

4. Alta duritia, superficies compacta, particulae tenuis.
5. Longior vita servitus, et magis durabilis

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basic physicae CVD SiCcoating

性质 / Property

典型数值 / Valorem Typicam

晶体结构 / Crystal Structure

FCC β phase.111)取向

密度 / Density

3.21 g/cm³

硬度 / Duritia

MMD -500g onus

晶粒大小 / Frumentum

2~10μm

纯度 / Puritas chemica

99.99995%

热容 / Calor Capacitas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatio Temperature

2700℃

抗弯强度 / Flexural Fortitudo

415 MPa RT 4-punctum

杨氏模量 / Modulus iuvenum

430 Gpa 4pt bend, 1300℃

导热系数 / ThermalConductivity

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Scelerisque Expansion(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy est realis fabrica graphitae nativus et carbidi siliconis productorum cum diversis coatingiis sicut SiC tunica, TaC tunica, carbonis tunica vitrea, carbonis pyrolytica tunica, etc., varias partes nativus pro semiconductore et industria photovoltaicae supplere potest.

Nostra technica turma e supremo institutionum domesticarum investigationum venit, solutiones tibi magis professionales materiales praebere potest.

Processus progressus continenter enucleamus ut materiae graviores praebeant et technologiam patentem exclusivam elaboraverint, quae vinculum inter tunicam et subiectum arctius et minus proclivior ad detractionem facere potest.

Vehementer te salvete ut officinas nostras visitetis, disputationem porro habeamus!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Priora:
  • Next:

  • Whatsapp Online Chat!