SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Кыска сүрөттөмө:

VET Energy SiC капталган MOCVD эпитаксиалдык өсүү үчүн Susceptor - бул узак убакыт бою ырааттуу жана ишенимдүү аткарууну камсыз кылуу үчүн иштелип чыккан жогорку натыйжалуу продукт. Бул супер жакшы жылуулук туруктуулугуна жана жылуулук бирдейлигине, жогорку тазалыкка, эрозияга туруктуулугуна ээ, бул пластинаны иштетүү үчүн эң сонун чечим.

Бизге электрондук кат жөнөтүү PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

SiC каптоочу графит MOCVD Wafer ташыгычтар/сусептор

Биздин бардык сусцепторлор күчтүү изостатикалык графиттен жасалган. Биздин графиттерибиздин жогорку тазалыгынан пайда алыңыз – өзгөчө эпитаксия, кристалл өстүрүү, иондук имплантация жана плазмадан оюу сыяктуу татаал процесстер үчүн, ошондой эле LED чиптерин өндүрүү үчүн иштелип чыккан.

Биздин продуктылардын өзгөчөлүктөрү:

1. 1700 ℃ чейин жогорку температура кычкылдануу каршылык.
2. Жогорку тазалык жана термикалык бирдейлик
3. Коррозияга мыкты туруктуулук: кислота, щелоч, туз жана органикалык реагенттер.
4. Жогорку катуулугу, компакт бети, майда бөлүкчөлөр.
5. Узак кызмат мөөнөтү жана бышык

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негизги физикалык касиеттерикаптоо
性质 / Мүлк	典型数值 / Типтүү маани
晶体结构 / Кристалл структурасы	FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向
密度 / Жыштыгы	3,21 г/см³
硬度 / Катуулугу	2500 维氏硬度（500г жүк）
晶粒大小 / Grain Size	2~10μm
纯度 / Химиялык тазалык	99.99995%
热容 / Жылуулук сыйымдуулугу	640 Дж·кг^-1· К^-1
升华温度 / Сублимация температурасы	2700℃
抗弯强度 / Ийилүү күчү	415 МПа РТ 4-пункту
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt ийилип, 1300 ℃
导热系数 / ТермалӨткөргүчтүк	300Вт·м^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термикалык кеңейүү (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy - бул SiC каптоо, TaC каптоо, айнектүү көмүртек каптоо, пиролиттик көмүртек каптоо ж.б. сыяктуу ар кандай жабдыктары бар жекелештирилген графит жана кремний карбид буюмдарынын чыныгы өндүрүүчүсү, жарым өткөргүч жана фотоэлектрдик өнөр жайы үчүн ар кандай ылайыкташтырылган тетиктерди бере алат.

Биздин техникалык команда жогорку ата мекендик изилдөө институттарынан келет, силер үчүн көбүрөөк кесиптик материалдык чечимдерди камсыз кыла алат.

Биз өнүккөн материалдар менен камсыз кылуу үчүн өнүккөн процесстерди тынымсыз өнүктүрөбүз жана жабын менен субстраттын ортосундагы байланышты катуураак жана ажыратууга азыраак жакын кыла турган эксклюзивдүү патенттелген технологияны иштеп чыктык.

Сизди биздин фабрикага барыңыз, келиңиз, андан ары талкуулайлы!