Fan out пластинка деңгээлинде таңгактоо (FOWLP) жарым өткөргүч өнөр жайындагы экономикалык жактан натыйжалуу ыкма. Бирок, бул процесстин типтүү терс таасирлери - бул ийрилүү жана чипти алмаштыруу. Вафли деңгээлинин жана панелдин деңгээлин желдетүү технологиясын тынымсыз жакшыртууга карабастан, калыпка байланыштуу бул маселелер дагы эле бар.
Бүчүрлүү суюктук кысуу калыптоо кошулмасынын (LCM) калыптангандан кийин айыктыруу жана муздатуу учурунда химиялык кичирейүүсүнөн келип чыгат. Кремний чипинин, калыптоочу материалдын жана субстраттын ортосундагы жылуулук кеңейүү коэффициентинин (CTE) дал келбегендиги бузулуунун экинчи себеби. Оффсет жогорку толтургуч мазмуну бар илешкектүү калыптоо материалдары, адатта, жогорку температурада жана жогорку басымда гана колдонулушу мүмкүн экендигине байланыштуу. Чип ташыгычка убактылуу байланыш аркылуу бекитилгендиктен, температуранын жогорулашы жабышчаакты жумшартып, ошону менен анын жабышчаак күчүн алсыратат жана чипти оңдоо мүмкүнчүлүгүн азайтат. Оффсеттин экинчи себеби - калыптоо үчүн талап кылынган басым ар бир чипте стрессти жаратат.
Бул көйгөйлөрдүн чечимдерин табуу үчүн, DELO жөнөкөй аналогдук чипти алып жүрүүчүгө туташтыруу менен техникалык-экономикалык негиздеме жүргүзгөн. Орнотуу жагынан алып жүрүүчү пластинка убактылуу бириктирүүчү жабышчаак менен капталган жана чиптин бети ылдый жайгаштырылат. Кийинчерээк, пластинка илешкектүүлүгү төмөн DELO жабышчаак менен калыпка салынып, ташуучу пластинаны алып салуудан мурун ультрафиолет нурлануу менен айыктырылган. Мындай колдонмолордо, адатта, жогорку илешкектүүлүктүү термосерттүү формалоочу композиттер колдонулат.
DELO ошондой эле экспериментте термореактивдүү формалоочу материалдардын жана УК менен айыктырылган өнүмдөрдүн бузулушун салыштырып, натыйжалар типтүү калыптоо материалдары термостатуудан кийин муздатуу мезгилинде ийри турганын көрсөттү. Ошондуктан, ысытуу менен дарылоонун ордуна бөлмө температурасында ультрафиолет менен айыктыруу формалоочу кошулма менен ташуучунун ортосундагы термикалык кеңейүү коэффициентинин дал келбестигинин таасирин бир топ азайтат, ошону менен мүмкүн болушунча кыйшоону азайтат.
Ультрафиолет менен айыктыруучу материалдарды колдонуу толтургучтарды колдонууну азайтат, ошону менен илешкектүүлүгүн жана Янг модулун азайтат. Сыноодо колдонулган моделдин чаптамасынын илешкектүүлүгү 35000 мПа · с, ал эми Янгдын модулу 1 ГПа. Калыпталуучу материалда ысытуунун же жогорку басымдын жоктугунан, чиптин ордун толтурууну мүмкүн болушунча азайтууга болот. Кадимки калыптандыруучу кошулма болжол менен 800000 мПа · с илешкектүүлүгүнө жана Янгдын модулу эки сандын диапазонунда болот.
Жалпысынан алганда, изилдөөлөр көрсөткөндөй, чоң аянтты калыптандыруу үчүн UV менен айыктырылган материалдарды колдонуу чип лидеринин желдеткичтен чыккан пластинка деңгээлинде таңгактоосун өндүрүү үчүн пайдалуу, ошол эле учурда бузулууну жана чиптин офсеттин мүмкүн болушунча азайтат. Колдонулган материалдардын ортосундагы жылуулук кеңейүү коэффициенттериндеги олуттуу айырмачылыктарга карабастан, бул процесс дагы эле температуранын өзгөрүүсүнүн жоктугунан улам бир нече колдонууга ээ. Мындан тышкары, UV айыктыруу да айыктыруу убактысын жана энергия керектөөнү азайтат.
Термикалык айыктыруунун ордуна UV вентилятордон чыккан вафли деъгээлиндеги таңгактагы бузулууну азайтат жана жылышын азайтат
12 дюймдук капталган пластиналарды термикалык жактан айыктырылган, жогорку толтургуч кошулманы (A) жана UV менен айыктырылган кошулманы (B) колдонуу менен салыштыруу
Посттун убактысы: 2024-жылдын 5-ноябрына чейин