Жогоруда көрсөтүлгөндөй, бул типтүү болуп саналат
Биринчи тайм:
Жылытуу элементи (жылытуу катушкасы) : меш түтүгүнүн айланасында жайгашкан, көбүнчө каршылык зымдарынан жасалган, мештин түтүгүнүн ичин жылытуу үчүн колдонулат.
Кварц түтүгү: ысык кычкылдануу мешинин өзөгү, жогорку тазалыктагы кварцтан жасалган, жогорку температурага туруштук бере алат жана химиялык жактан инерттүү бойдон калат.
Газ Feed: Меш түтүктүн үстүнкү же капталында жайгашкан, ал меш түтүктүн ичине кычкылтек же башка газдарды ташуу үчүн колдонулат.
SS Flange: кварц түтүктөрүн жана газ линияларын бириктирүүчү компоненттер, туташтыруунун бекемдигин жана туруктуулугун камсыз кылат.
Газ берүү линиялары: МФКны газды өткөрүү үчүн газ менен камсыздоо портуна туташтыруучу түтүктөр.
MFC (Mas Flow Controller) : Кварц түтүкчөсүнүн ичиндеги газдын агымын көзөмөлдөөчү түзүлүш, керектүү газдын көлөмүн так жөнгө салуу.
Вент: Меш түтүгүнүн ичинен чыккан газды жабдуунун сыртына чыгаруу үчүн колдонулат.
Төмөнкү бөлүгү
Кремний пластиналар кармагычта: Кремний пластиналары кычкылдануу учурунда бир калыпта жылуулукту камсыз кылуу үчүн атайын кармоочуга жайгаштырылат.
Wafer Holder: кремний пластинкасын кармап туруу жана процесстин жүрүшүндө кремний пластинкасынын туруктуу болушун камсыз кылуу үчүн колдонулат.
Пьедестал: Кремний пластинкасын кармаган түзүлүш, адатта жогорку температурага туруктуу материалдан жасалган.
Лифт: Кремний пластинкаларын автоматтык түрдө жүктөө жана түшүрүү үчүн кварц түтүктөрүнө вафли кармагычтарды көтөрүү үчүн колдонулат.
Wafer Transfer Robot: мештин түтүк аппаратынын капталында жайгашкан, ал автоматтык түрдө кутудан кремний пластинасын алып салуу жана аны мештин түтүгүнө салуу же иштетилгенден кийин алып салуу үчүн колдонулат.
Кассетаны сактоочу карусель: Кассетаны сактоочу карусель кремний пластинкаларын камтыган кутуну сактоо үчүн колдонулат жана роботтун жетүү үчүн айлантылышы мүмкүн.
Вафли кассетасы: пластинкалуу кассета кайра иштетиле турган кремний пластинкаларын сактоо жана өткөрүү үчүн колдонулат.
Пост убактысы: 22-2024-апрель