Меш түтүк жабдуулардын ички түзүлүшү майда-чүйдөсүнө чейин түшүндүрүлөт

Жогоруда көрсөтүлгөндөй, типтүү болуп саналат

Биринчи тайм:

▪ Жылытуу элементи (жылытуу катушкасы):

меш түтүгүнүн айланасында жайгашкан, көбүнчө каршылык зымдарынан жасалган, меш түтүгүнүн ичин жылытуу үчүн колдонулат.

▪ Кварц түтүк:

Жогорку температурага туруштук бере ала турган жана химиялык жактан инерттүү боло турган жогорку тазалыктагы кварцтан жасалган ысык кычкылдануучу мештин өзөгү.

▪ Газ берүү:

Меш түтүгүнүн үстүнкү же капталында жайгашкан, ал кычкылтекти же башка газдарды мештин түтүгүнүн ичине жеткирүү үчүн колдонулат.

▪ SS фланец:

туташтыруунун бекемдигин жана туруктуулугун камсыз кылуучу кварц түтүктөрүн жана газ линияларын бириктирүүчү компоненттер.

▪ Газ берүү линиялары:

Газды өткөрүү үчүн MFCны газ менен камсыздоо портуна туташтыруучу түтүктөр.

▪ MFC (Массалык агым контроллери):

Кварц түтүгүнүн ичиндеги газдын агымын көзөмөлдөөчү түзүлүш, керектүү газдын көлөмүн так жөнгө салуу.

▪ Желдетүү:

Меш түтүгүнүн ичинен чыккан газды жабдуунун сыртына чыгаруу үчүн колдонулат.

Төмөнкү бөлүгү:

▪ Кармоодогу кремний вафли:

Кремний пластиналар кычкылдануу учурунда бир калыпта жылуулукту камсыз кылуу үчүн атайын Холдерге жайгаштырылат.

▪ Вафли кармоочу:

Кремний пластинасын кармап туруу жана процесстин жүрүшүндө кремний пластинкасынын туруктуу болушун камсыз кылуу үчүн колдонулат.

▪ Пьедестал:

Кремний пластинкасын кармаган структура, адатта, жогорку температурага туруктуу материалдан жасалган.

▪ Лифт:

Кремний пластинкаларын автоматтык түрдө жүктөө жана түшүрүү үчүн кварц түтүктөрүнө вафли кармагычтарды көтөрүү үчүн колдонулат.

▪ Вафли ташуучу робот:

мештин түтүк аппаратынын капталында жайгашкан, ал автоматтык түрдө кутудан кремний пластинасын алып салуу жана аны мештин түтүкчөсүнө коюу же иштетилгенден кийин алып салуу үчүн колдонулат.