Жогорку чыңалуу, жогорку кубаттуулук, жогорку жыштык жана жогорку температура мүнөздөмөлөрүн көздөгөн S1C дискреттик түзүлүштөрүнөн айырмаланып, SiC интегралдык микросхемасынын изилдөө максаты негизинен интеллектуалдык кубаттуулукту IC башкаруу схемасы үчүн жогорку температуралык санариптик схеманы алуу болуп саналат. Ички электр талаасы үчүн SiC интегралдык схемасы өтө төмөн болгондуктан, микротүтүкчөлөрдүн дефектинин таасири бир топ басаңдайт, бул монолиттүү SiC интегралдык операциялык күчөткүч чипинин биринчи бөлүгү текшерилди, иш жүзүндө даяр продукт жана түшүмдүүлүк менен аныкталган бир топ жогору. микротүтүкчөлөрдүн кемчиликтерине караганда, SiC кирешелүүлүгүнүн моделине негизделген жана Si жана CaAs материалы ачыктан-ачык айырмаланат. Чип түгөнүү NMOSFET технологиясына негизделген. Негизги себеби, тескери канал SiC MOSFETтердин эффективдүү алып жүрүүчү мобилдүүлүгү өтө төмөн. Sicтин беттик кыймылдуулугун жакшыртуу үчүн Sicтин термикалык кычкылдануу процессин жакшыртуу жана оптималдаштыруу зарыл.
Purdue University SiC интегралдык микросхемалар боюнча көп иштерди жасады. 1992-жылы фабрика тескери канал 6H-SIC NMOSFETs монолиттүү санарип интегралдык микросхемасынын негизинде ийгиликтүү иштелип чыккан. Чипте дарбаза эмес, дарбаза эмес, же дарбаза, экилик эсептегич жана жарым суммардык схемалар бар жана 25°Cден 300°Cге чейинки температура диапазонунда туура иштей алат. 1995-жылы биринчи SiC учагы MESFET Ics ванадий инжекциялык изоляция технологиясын колдонуу менен жасалган. Инъекцияланган ванадийдин көлөмүн так көзөмөлдөө менен, изоляциялоочу SiC алууга болот.
Санариптик логикалык схемаларда CMOS схемалары NMOS схемаларына караганда жагымдуураак. 1996-жылы сентябрда биринчи 6H-SIC CMOS санарип интегралдык микросхема өндүрүлгөн. Аппарат инъекцияланган N-тартипти жана оксид катмарын колдонот, бирок процесстин башка көйгөйлөрүнөн улам PMOSFET чипинин босого чыңалуусу өтө жогору. 1997-жылдын мартында экинчи муундагы SiC CMOS схемасын өндүрүүдө. Р капкан жана жылуулук өсүү оксид катмарын сайынуу технологиясы кабыл алынган. Процессти өркүндөтүү жолу менен алынган PMOSEFTтердин босого чыңалуусу -4,5 В. Чиптеги бардык схемалар бөлмө температурасында 300°Cге чейин жакшы иштейт жана 5тен 15Вга чейин болгон бир гана электр булагы менен иштейт.
Субстрат пластинкасынын сапатынын жакшырышы менен көбүрөөк функционалдык жана жогорку түшүм берүүчү интегралдык схемалар жасалат. Бирок, SiC материалдык жана процесстик көйгөйлөр негизинен чечилгенде, аппараттын жана пакеттин ишенимдүүлүгү жогорку температурадагы SiC интегралдык микросхемалардын иштешине таасир этүүчү негизги фактор болуп калат.
Посттун убактысы: 23-август-2022