КРЕМНИЙДОН ВАФЕЛЬДИ КАНТИП ЖАСАСА БОЛОТ
A вафлитехникалык жактан абдан талап кылынган процедуралардын аркасында өтө жалпак бетке ээ болгон болжол менен 1 миллиметр калыңдыктагы кремнийдин бир кесими. Кийинки колдонуу кристалл өстүрүүнүн кайсы процедурасын колдонуу керектигин аныктайт. Мисалы, Цохральски процессинде поликристалл кремний эритип, эриген кремнийге карандаштай жука урук кристалы малып алынат. Андан кийин урук кристалл айланып, акырындык менен өйдө тартылат. Абдан оор колосс, монокристалл пайда болот. Монокристаллдын электрдик мүнөздөмөлөрүн жогорку тазалыктагы кошулмалардын кичинекей бирдиктерин кошуу менен тандоого болот. Кристаллдар кардардын спецификациясына ылайык допингден өткөрүлөт, андан кийин жылмаланып, тилкелерге кесилет. Ар кандай кошумча өндүрүш кадамдарынан кийин, кардар өзүнүн көрсөтүлгөн пластиналарды атайын таңгактарда алат, бул кардар вафлиди дароо өндүрүш линиясында колдонууга мүмкүндүк берет.
ЧОХРАЛЬСКИЙ ПРОЦЕССИ
Бүгүнкү күндө кремний монокристаллдарынын чоң бөлүгү Чохральски процесси боюнча өстүрүлөт, ал гипертаза кварц тигельде поликристаллдуу жогорку тазалыктагы кремнийди эритүүнү жана кошумча затты (көбүнчө B, P, As, Sb) кошууну камтыйт. Жука, монокристалдуу урук кристалл эриген кремнийге малып жатат. Бул жука кристаллдан чоң CZ кристалл пайда болот. Эриген кремнийдин температурасын жана агымын, кристаллдын жана тигельдин айлануусун, ошондой эле кристаллдын тартылуу ылдамдыгын так жөнгө салуу өтө жогорку сапаттагы монокристалл кремний куймасын берет.
FLOAT ZONE METHOD
Калкыма зоналар ыкмасы боюнча өндүрүлгөн монокристаллдар IGBT сыяктуу электр жарым өткөргүчтөрдүн компоненттеринде колдонуу үчүн идеалдуу. Цилиндрлик поликристалл кремний куймасы индукциялык катушка орнотулган. Радио жыштык электромагниттик талаа таякчанын төмөнкү бөлүгүндөгү кремнийди эритүүгө жардам берет. Электромагниттик талаа кремний агымын индукциялык катушкадагы кичинекей тешик аркылуу жана ылдыйда жаткан монокристаллга (сүзмө зонасы ыкмасы) жөнгө салат. Адатта В же Р менен допинг газ түрүндөгү заттарды кошуу менен ишке ашат.
Билдирүү убактысы: 07-07-2021