негизги функцияларыкремний карбид кайыкколдоо жана кварц кайык колдоо бирдей.Кремний карбид кайыкколдоо мыкты көрсөткүчкө ээ, бирок баасы жогору. Бул катаал иштөө шарттары менен (мисалы, LPCVD жабдуулары жана бор диффузиялык жабдуулар) аккумулятордук кайра иштетүүчү жабдууларда кварц кайыкты колдоо менен альтернативалуу мамилени түзөт. Кадимки иштөө шарттары менен батареяны кайра иштетүүчү жабдууларда, баанын мамилелеринен улам, кремний карбиди жана кварц кайыгынын колдоосу жанаша жашоочу жана атаандаш категорияларга айланат.
① LPCVD жана бор диффузиялык жабдууларда алмаштыруу байланышы
LPCVD жабдуулары аккумулятордук клетка туннелдик кычкылдануу жана полисиликон катмарын даярдоо процесси үчүн колдонулат. Иштөө принциби:
Төмөн басымдагы атмосферада тиешелүү температура менен айкалышып, химиялык реакция жана катмарлануу пленкасынын пайда болушу өтө жука туннелдик оксид катмарын жана полисиликон пленкасын даярдоого жетишилет. Туннелдик кычкылдануу жана полисиликон катмарын даярдоо процессинде кайык тиреги жогорку жумушчу температурасына ээ жана бетинде кремний пленкасы сакталат. Кварцтын жылуулук кеңейүү коэффициенти кремнийдикинен бир топ айырмаланат. Жогорудагы процессте колдонулганда, кремнийден ар кандай жылуулук кеңейүү коэффициентинен улам термикалык кеңейүү жана жыйрылуудан кварц кайык таянычынын сынуусуна жол бербөө үчүн жер бетинде топтолгон кремнийди үзгүлтүксүз туздап, алып салуу керек. Кварц кайык кармагычы бат-баттан кычкылдануу жана төмөн жогорку температурадагы күчтөн улам кыска мөөнөткө ээ жана туннелдин кычкылдануу процессинде жана полисиликон катмарын даярдоо процессинде тез-тез алмаштырылат, бул батарея клеткасынын өндүрүштүк наркын олуттуу жогорулатат. кеңейүү коэффициентикремний карбидикремнийдикине жакын. интеграцияланганкремний карбид кайыккармагыч туннелдин кычкылдануу процессинде пилингди жана полисиликон катмарын даярдоо процессин талап кылбайт. Бул жогорку температуранын күчү жана узак кызмат мөөнөтү бар. Бул кварц кайык ээсине жакшы альтернатива болуп саналат.
Бор кеңейтүү жабдуулары, негизинен, PN түйүнүн түзүү үчүн P-түрү эмитентти даярдоо үчүн батареянын клеткасынын N-типтүү кремний пластинкасынын субстратында бор элементтерин допингдөө процесси үчүн колдонулат. Иш принциби химиялык реакцияны жана жогорку температурадагы атмосферада молекулярдык чөкмө пленканы түзүү болуп саналат. Плёнка пайда болгондон кийин, кремний пластинкасынын бетинин допингдик функциясын ишке ашыруу үчүн жогорку температурада ысытуу аркылуу таралышы мүмкүн. Бор кеңейтүүчү жабдуулардын иштөө температурасы жогору болгондуктан, кварцтык кайык кармоочу төмөн температурага жана борду кеңейтүүчү жабдууларда кыска мөөнөткө ээ. интеграцияланганкремний карбид кайыккармагыч жогорку температуралык күчкө ээ жана бордун кеңейүү процессинде кварц кайык кармагычына жакшы альтернатива болуп саналат.
② Башка технологиялык жабдууларда алмаштыруу байланышы
SiC кайык колдору бекем өндүрүштүк кубаттуулугу жана мыкты аткаруу бар. Алардын баасы көбүнчө кварцтык кайык таянычтарына караганда жогору. Клеткаларды кайра иштетүүчү жабдуулардын жалпы иштөө шарттарында SiC кайык таянычтары менен кварц кайык таянычтарынын ортосундагы кызмат мөөнөтүнүн айырмасы аз. Төмөнкү агымдагы кардарлар, негизинен, өз процесстерине жана муктаждыктарына жараша баа менен аткарууну салыштырып, тандашат. SiC кайык тирөөчтөрү жана кварц кайык таянычтары чогуу жашап, атаандаштыкка жөндөмдүү болуп калды. Бирок, SiC кайык таянычтарынын дүң киреше маржасы азыркы учурда салыштырмалуу жогору. SiC кайык таянычтарынын өндүрүштүк наркынын төмөндөшү менен, эгерде SiC кайык таянычтарынын сатуу баасы жигердүү төмөндөсө, бул кварц кайык таянычтарына дагы чоң атаандаштыкка жөндөмдүүлүктү жаратат.
Колдонуу катышы
Клетка технологиясы маршруту негизинен PERC технологиясы жана TOPCon технологиясы. PERC технологиясынын рыноктук үлүшү 88%, TOPCon технологиясынын үлүшү 8,3%. Экөөнүн чогуу алгандагы рыноктук үлүшү 96,30% түзөт.
Төмөнкү сүрөттө көрсөтүлгөндөй:
PERC технологиясында алдыңкы фосфордун диффузиясы жана күйгүзүү процесстери үчүн кайык таянычтары талап кылынат. TOPCon технологиясында бордун алдыңкы диффузиясы, LPCVD, фосфордун арткы диффузиясы жана күйдүрүү процесстери үчүн кайык таянычтары талап кылынат. Азыркы учурда, кремний карбид кайык таянычтар негизинен TOPCon технологиясы LPCVD жараянында колдонулат, жана бор диффузия жараянында алардын колдонуу негизинен текшерилген.
Клетканы иштетүү процессинде кайык таянычтарын колдонуу
Эскертүү: PERC жана TOPCon технологияларын алдыңкы жана арткы каптоодон кийин дагы эле экранды басып чыгаруу, агломерациялоо жана сыноо жана сорттоо сыяктуу шилтемелер бар, алар кайык таянычтарын колдонууну камтыбайт жана жогорудагы сүрөттө көрсөтүлгөн эмес.
Посттун убактысы: 2024-жылдын 15-октябрына чейин