Максаттарды чачуунегизинен электроника жана маалымат тармактарында колдонулат, мисалы, интегралдык микросхемалар, маалыматты сактоо, суюк кристалл дисплейлер, лазердик эс тутумдар, электрондук башкаруу приборлору, ж.б. материалдар, жогорку температурадагы коррозияга туруктуулугу, жогорку декоративдик буюмдар жана башка тармактар.
Чачыратуу жука пленкалуу материалдарды даярдоонун негизги ыкмаларынын бири болуп саналат.Ал жогорку ылдамдыктагы энергетикалык иондук нурларды пайда кылуу, катуу бетти бомбалоо жана иондор менен катуу беттин атомдорунун ортосунда кинетикалык энергия алмашуу үчүн ион булактары тарабынан түзүлгөн иондорду тездетүү жана вакуумда топтоо үчүн колдонот. Катуу беттеги атомдор катуу затты таштап, субстраттын бетине жайгашат. Бомбаланган катуу зат чачуу жолу менен жука пленкаларды салуу үчүн чийки зат болуп саналат, ал чачыратуучу максат деп аталат. Жарым өткөргүчтүү интегралдык микросхемаларда, жаздыруу каражаттарында, жалпак панелдүү дисплейлерде жана даярдалган беттик каптоодо чачыратылган жука пленкалуу материалдардын ар кандай түрлөрү кеңири колдонулган.
Бардык колдонуу тармактарынын арасында, жарым өткөргүч өнөр жайы максаттуу чачыратуу films.High-таза металл чачыратуу максаттары үчүн абдан катуу сапат талаптары бар, негизинен, вафли өндүрүшүндө жана өнүккөн таңгактоо процесстеринде колдонулат. Чип өндүрүшүн мисал катары алсак, кремний пластинкасынан чипке чейин 7 негизги өндүрүш процессинен өтүшү керек, атап айтканда диффузия (Термикалык процесс), Фото-литография (Фото-литография), Etch (Etch), Иондук имплантация (IonImplant), Жука пленканы өстүрүү (диэлектрдик чөкмө), Химиялык механикалык жылтыратуу (CMP), Металлдаштыруу (метализация) Процесстер бири-бирине дал келет. Чачыратуу бутасы “металлдаштыруу” процессинде колдонулат. Бута жука пленка түшүрүүчү жабдуулар менен жогорку энергиялуу бөлүкчөлөр менен бомбаланат, андан кийин кремний пластинасында өткөргүч катмар, тосмо катмары сыяктуу өзгөчө функциялары бар металл катмары пайда болот. Күтө туруңуз. Бүт жарым өткөргүчтөрдүн процесстери ар түрдүү болгондуктан, системанын туура бар экендигин текшерүү үчүн кээ бир жагдайлар талап кылынат, андыктан эффекттерди тастыктоо үчүн өндүрүштүн белгилүү этаптарында жасалма материалдардын кээ бир түрлөрүн талап кылабыз.
Посттун убактысы: 17-январь-2022