vet-çîn misoger dike ku her DurableSilicon Carbide Wafer Handling Paddlexwedan performansa û domdariya hêja ye. Ev pêlava hilgirtina waferê ya silicon carbide pêvajoyên hilberîna pêşkeftî bikar tîne da ku pê ewle bibe ku aramiya strukturî û fonksiyona wê di germahiya bilind û hawîrdora korozyona kîmyewî de bimîne. Ev sêwirana nûjen piştgirîyek hêja peyda dike ji bo hilgirtina wafera nîvconductor, nemaze ji bo operasyonên otomatîkî yên rast-bilind.
SiC Cantilever Paddlepêkhateyek pispor e ku di alavên hilberîna nîvconductor de wekî firna oksîdasyonê, firna belavbûnê, û firna lêdanê tê bikar anîn, karanîna sereke ji bo barkirin û barkirina waferê ye, di pêvajoyên germahiya bilind de waferan piştgirî û veguhezîne.
Avahiyên hevparjiSiCcantileverpaddle: avahiyek kelpîç, li yek dawiya sabît û li ya din azad, bi gelemperî sêwiranek darûz û mîna paddle heye.
WorkingprinciplejiSiCcantileverpaddle:
Peldanka kantilê dikare di hundurê jûreya firnê de jor û jêr an paş û paş ve biçe, ew dikare were bikar anîn da ku waferan ji deverên barkirinê berbi deverên pêvajoyê, an ji deverên pêvajoyê veguhezîne, di dema hilberandina germahiya bilind de waferan piştgirî û aram bike.
Taybetmendiyên fizîkî yên Silicon Carbide Recrystallized | |
Mal | Nirxa Tîpîkî |
Germahiya xebatê (°C) | 1600°C (bi oksîjenê), 1700°C (kêmkirina jîngehê) |
naveroka SiC | > 99,96% |
naveroka Si belaş | < 0.1% |
Density Bulk | 2,60-2,70 g/cm3 |
Poroziya xuya | < 16% |
Hêza compression | > 600 MPa |
Hêza ziravkirina sar | 80-90 MPa (20°C) |
Hêza germbûna germ | 90-100 MPa (1400°C) |
Berfirehbûna germî @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Germahîbûna germê @1200°C | 23 W/m•K |
Modula elastîk | 240 GPa |
Berxwedana şoka termal | Extremely baş |