The AdvancedSiC Cantilever Paddleji bo Pêvajoya Waferê ya ku ji hêla vet-china ve hatî afirandin ji bo çêkirina nîvconductor çareseriyek hêja peyda dike. Ev pêlava kantilê ji materyalê SiC (karbîd silicon) hatî çêkirin, û serhişkiya wê ya bilind û berxwedana germahiyê dihêle ku ew di germahiya bilind û hawîrdorên korozîf de performansa hêja bidomîne. Sêwirana Cantilever Paddle dihêle ku wafer di dema pêvajoyê de bi pêbawer were piştgirî kirin, xetera perçebûn û zirarê kêm dike.
SiC Cantilever Paddlepêkhateyek pispor e ku di alavên hilberîna nîvconductor de wekî firna oksîdasyonê, firna belavbûnê, û firna lêdanê tê bikar anîn, karanîna sereke ji bo barkirin û barkirina waferê ye, di pêvajoyên germahiya bilind de waferan piştgirî û veguhezîne.
Avahiyên hevparjiSiCcantileverpaddle: avahiyek kelpîç, li yek dawiya sabît û li ya din azad, bi gelemperî sêwiranek darûz û mîna paddle heye.
Enerjiya VET ji bo garantîkirina kalîteyê materyalên karbîdê siliconê ji nû ve kristalkirî yên paqijiya bilind bikar tîne.
| Taybetmendiyên fizîkî yên Silicon Carbide Recrystallized | |
| Mal | Nirxa Tîpîkî |
| Germahiya xebatê (°C) | 1600°C (bi oksîjenê), 1700°C (kêmkirina jîngehê) |
| naveroka SiC | > 99,96% |
| naveroka Si belaş | < 0.1% |
| Density Bulk | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Poroziya xuya | < 16% |
| Hêza compression | > 600MPa |
| Hêza ziravkirina sar | 80-90 MPa (20°C) |
| Hêza germbûna germ | 90-100 MPa (1400°C) |
| Berfirehbûna germî @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Germahîbûna germê @1200°C | 23W/m•K |
| Modula elastîk | 240 GPa |
| Berxwedana şoka termal | Extremely baş |
Feydeyên Pêşkeftî yên SiC Cantilever Paddle ya VET Energy ji bo Pêvajoya Wafer ev in:
-Stîqrara germahiya bilind: di hawîrdorên ji 1600 °C jorî de tê bikar anîn;
-Hevbera berfirehbûna germî ya kêm: îstîqrara pîvanê diparêze, xetera şerpezeya wafer kêm dike;
-Paqijiya bilind: metirsiya kêmbûna qirêjiya metalê;
-Bêdengiya kîmyewî: berxwedêr-berxwedêr, ji bo hawîrdorên cihêreng ên gazê maqûl e;
-Hêz û serhişkiya bilind: Berxwedêr, jiyana karûbarê dirêj;
- Germbûna germê ya baş: di germkirina yekreng a waferê de dibe alîkar.
