1. Pejirandin berî paqijkirinê
1) Dema kuKeştiya grafît PECVD/carrier ji 100 û 150 caran zêdetir tê bikar anîn, pêdivî ye ku operator di wextê xwe de rewşa kincê kontrol bike. Ger pêçek anormal hebe, pêdivî ye ku ew were paqijkirin û piştrast kirin. Rengê nixumandina normal a wafera siliconê di keştiya grafît / hilgir de şîn e. Ger wafer xwedan rengên ne-şîn, pirjimar be, an jî cûdahiya rengan di navbera waferan de mezin be, ew pêvek nenormal e, û hewce ye ku sedema nenormaliyê di wextê de were piştrast kirin.
2) Piştî ku personelên pêvajoyê rewşa pêlavê analîz dikinKeştiya grafît PECVD/carrier, ew ê diyar bikin ka gelo pêdivî ye ku keştiya grafît were paqij kirin û gelo pêdivî ye ku xala kartê were guheztin an na, û keştiya grafît / hilgira ku divê were paqij kirin dê ji bo paqijkirinê radestî personelên amûrê were kirin.
3) Piştîkeştiya grafît/hilgir xera bûye, personelên hilberînê dê hemî pêlên siliconê yên di keştiya grafîtê de derxînin û CDA (hewayê pêçandî) bikar bînin da ku perçeyên di nav de ji hev veqetînin.keştiya grafît. Piştî qedandinê, personelên amûrê dê wê hildin nav tanka asîdê ya ku bi rêjeyek diyarkirî ya çareseriya HF-ê ji bo paqijkirinê hatî amadekirin.
2. Paqijkirina keştiya grafît
Tête pêşniyar kirin ku ji bo sê qonaxên paqijkirinê, her yek ji 4-5 demjimêran, çareseriyek 15-25% hîdrofluorîk acîdê bikar bînin, û di dema pêvajoya şilkirin û paqijkirinê de nîtrojenê bi periyodîk bişewitînin, bi qasî nîv saetê paqijkirinê zêde bikin; Nîşe: nayê pêşniyar kirin ku hewa rasterast wekî çavkaniya gazê ji bo bilbilê were bikar anîn. Piştî hilgirtinê, bi ava paqij bi qasî 10 demjimêran bişon, û piştrast bikin ku qeyikê bi tevahî paqij bûye. Piştî paqijkirinê, ji kerema xwe rûyê qeyikê, xala qerta grafîtê û hevgirtina pelê keştiyê, û beşên din kontrol bikin da ku bibînin ka bermahiyek nîtrîda silicon heye. Dû re li gorî hewcedariyên hişk hişk bikin.
3. Tedbîrên paqijkirinê
A) Ji ber ku asîda HF maddeyek pir gemarî ye û xwedan volatiyetek diyar e, ew ji bo operatoran xeternak e. Ji ber vê yekê, operatorên li posta paqijkirinê divê tedbîrên ewlehiyê bigirin û ji hêla kesek dilsoz ve bêne rêvebirin.
B) Tê pêşniyar kirin ku qeyikê ji hev veqetînin û di dema paqijkirinê de tenê beşa grafîtê paqij bikin, da ku her perçeyek têkiliyê bi hûrgulî were paqij kirin. Heya nuha, gelek hilberînerên navxweyî paqijkirina giştî bikar tînin, ku ev hêsan e, lê ji ber ku asîdê HF ji perçeyên seramîk re zerar e, paqijkirina giştî dê jiyana karûbarê beşên têkildar kurt bike.
Dema şandinê: Dec-23-2024